【发明专利】 SINGLE-CHIP HIGH-STRENGTH MAGNETIC FIELD X-AXIS LINEAR MAGNETORESISTANCE SENSOR HAVING CALIBRATION COIL AND/OR RESET COIL
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A single-chip high-strength magnetic field X-axis linear magnetoresistance sensor having a calibration coil (70, 80, 81) and/or a reset coil (82, 83), the sensor comprising a high-strength magnetic field single-chip reference bridge-type X-axis magnetoresistance sensor, and the calibration coil (70, 80, 81) and/or the reset coil (82, 83), the calibration coil (70, 80, 81) being a planar coil, the reset coil (82, 83) being a planar or three-dimensional coil, the planar calibration coil (70, 80, 81) and the planar reset coil (82) being located above a substrate (1) and below magnetoresistance sensing units (4, 41, 5, 51), between the magnetoresistance sensing units (4, 41, 5, 51) and soft magnetic flux guides, above the soft magnetic flux guides, or at gaps, the three-dimensional reset coil (83) being wound around the soft magnetic flux guides and the magnetoresistance sensing units (4, 41, 5, 51), the calibration coil (70, 80, 81) and the reset coil (82, 83) respectively generating a calibration magnetic field and a uniform reset magnetic field at the magnetoresistance sensing units (4, 41, 5, 51), the calibration magnetic field being parallel to the direction of a pinned layer, the uniform reset magnetic field being in the direction of a free layer. Calibration and magnetic state resetting of the single-chip X-axis linear magnetoresistance sensor may be implemented by controlling the current of the calibration coil (70, 80, 81) and the reset coil (82, 83).
La présente invention concerne un capteur de magnétorésistance linéaire sur l'axe des X à champ magnétique de haute résistance sur puce unique ayant une bobine d'étalonnage (70, 80, 81) et/ou une bobine de réinitialisation (82, 83), le capteur comportant un capteur de magnétorésistance sur l'axe des X de type pont de référence sur puce unique à champ magnétique de haute résistance, et la bobine d'étalonnage (70, 80, 81) et/ou la bobine de réinitialisation (82, 83), la bobine d'étalonnage (70, 80, 81) étant une bobine plane, la bobine de réinitialisation (82, 83) étant une bobine plane ou en trois dimensions, la bobine d'étalonnage plane (70, 80, 81) et la bobine de réinitialisation plane (82) étant localisées au-dessus d'un substrat (1) et en-dessous d'unités de détection de magnétorésistance (4, 41, 5, 51), entre les unités de détection de magnétorésistance (4, 41, 5, 51) et les guides des flux magnétiques temporaires, au-dessus des guides des flux magnétiques temporaires, ou au niveau des espaces, la bobine de réinitialisation en trois dimensions (83) étant enroulée autour des guides des flux magnétiques temporaires, les unités de détection de magnétorésistance (4, 41, 5, 51), la bobine d'étalonnage (70, 80, 81) et la bobine de réinitialisation (82, 83) générant respectivement un champ magnétique d'étalonnage et un champ magnétique uniforme de réinitialisation au niveau des unités de détection de magnétorésistance (4, 41, 5, 51), le champ magnétique d'étalonnage étant parallèle au sens d'une couche ancrée, le champ magnétique uniforme de réinitialisation se trouvant dans le sens d'une couche libre. L'étalonnage et le paramétrage de l'état magnétique du capteur de magnétorésistance linéaire sur l'axe des X sur puce unique peuvent être mis en œuvre en régulant le courant de la bobine d'étalonnage (70, 80, 81) et de la bobine de réinitialisation (82, 83).
一种单芯片具有校准线圈(70,80,81)和/或重置线圈(82,83)的高强度磁场X轴线性磁电阻传感器,包括高强度磁场单芯片参考桥式X轴磁电阻传感器及校准线圈(70,80,81)和/或重置线圈(82,83),所述校准线圈(70,80,81)为平面线圈,所述重置线圈(82,83)为平面或三维线圈,所述平面校准线圈(70,80,81)和平面重置线圈(82)可以位于衬底(1)之上磁电阻传感单元(4,41,5,51)之下、磁电阻传感单元(4,41,5,51)和软磁通量引导器之间、软磁通量引导器之上或间隙处,所述三维重置线圈(83)缠绕软磁通量引导器和磁电阻传感单元(4,41,5,51),所述校准线圈(70,80,81)和重置线圈(82,83)分别在磁电阻传感单元(4,41,5,51)处产生平行于钉扎层方向的校准磁场和自由层方向的均匀重置磁场。通过控制校准线圈(70,80,81)和重置线圈(82,83)电流可实现单芯片X轴线性磁电阻传感器校准及磁状态重置。