基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 Method to analyze spectroscopic ellipsometry or intensity data of porous samples utilizing the anisotropic bruggeman-effective medium theory
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： US201815932748
• 专利权人： HALE JEFFREY S;HERZINGER CRAIG M;SCHOECHE STEFAN;VAN DERSLICE JEREMY A
• 申请人： J A WOOLLAM CO INC
• 分类号： G01J3/447
• 发明人/设计人： HALE JEFFREY S;HERZINGER CRAIG M;SCHOECHE STEFAN;VAN DERSLICE JEREMY A
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号： G01J3/447
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：Methodology of characterizing pore size distribution in a porous thin film having a surface, or in a surface region of a porous semi-infinite bulk substrate having a surface, involving applying a mathematical model of a sample based on effective medium approaches, such as the Bruggeman effective medium approach.

摘要附图：