一种加速度计，具有：一个片状检测质量(1)；柔性安装腿(2)，所述柔性安装腿(2)的每一个都与所述检测质量(1)共平面；一个环状支撑件(3)，所述检测质量(1)可移动地安装于其中，每一个安装腿(2)在其一端连结到所述检测质量(1)上，在其另一端连结到所述支撑件(3)上，并且所述安装腿(2)基本上垂直于感测方向延伸；多个交叉的电容器指状元件，在一个气态介质中安装在所述环状安装件(3)上，以便感测所述检测质量(1)沿着感测方向的线性运动，并为所述检测质量(1)提供一个沿着感测方向的气态介质挤压阻尼；所述指状元件、检测质量(1)、安装腿(2)和支撑件(3)共平面，并用一个单一的单晶硅制成；所述指状元件包括横向间隔配置的指状元件的固定第一、第二、第三和第四阵列(5、6、7、8)，所述指状元件阵列基本上垂直于所述共存方向延伸，并远离所述支撑件(3)靠近所述检测质量(1)，以及，横向间隔配置的指状元件的可动的第五、第六、第七和第八阵列，所述阵列基本上垂直于感测方向从所述检测质量(1)向所述支撑件(3)延伸，并固定到所述检测质量(1)上，第一与第五阵列(5、10)以及第三与第七阵列(7、12)的交错结合，以沿着感测方向的一个方向从第一、第二、第三和第四阵列(5、6、7、8)中的相邻的指状元件之间的中线开始的第一偏置距进行，第二与第六阵列(6、11)以及第四与第八阵列(8、13)的交错结合，和第一偏置距大小相等方向相反的第二偏置距进行，以及向指状元件的所述第一偏置阵列(5、10、7、12)提供第一驱动电压、向指状元件的所述第二偏置阵列(6、11、8、13)提供大小相等方向相反的第二驱动电压的装置，使得所述交叉指状元件为所述检测质量响应施加到加速度计上的加速度而感测位移提供保证，驱动并衰减位移。

本发明涉及微机械电子技术领域，具体是一种高灵敏度的谐振式微加速度计。解决了传统基于应力改变的谐振式加速度计的测量灵敏度易受内部残余应力等因素影响的问题，该加速度计包括玻璃基底、质量块、两双端固定音叉谐振器，两谐振器并列/排设置，且敏感电容侧相对，敏感电容包含若干个一侧极板经连接梁与音叉梁固定的平板电容，平板电容的另一侧极板经支撑连接梁整体固定；质量块设置于两谐振器之间，质量块与其两侧谐振器之间分别设置有一组对称的微杠杆，质量块两侧的微杠杆相对于质量块对称，微杠杆一端与质量块固定，另一端与平板电容的支撑连接梁固定。本发明结构合理，体积小，灵敏度高，检测效果好，具有良好的发展前景。

本发明涉及一种全解耦双轴电容式微机械加速度计，属于微机电系统中的惯性传感器技术领域。加速度计中，立柱固定在加速度计的基片上，横向和纵向折叠梁通过立柱固定在加速度计的基片上，横向和纵向可动电极分别与横向和纵向折叠梁相对固定，横向和纵向固定电极固定在加速度计的基片上，且分别与横向和纵向可动电极的位置相对，横向隔离梁与纵向可动电极相对固定，纵向隔离梁与横向可动电极相对固定，敏感质量块位于由横向和纵向隔离梁围成的方框中，敏感质量块的四角分别与横向和纵向隔离梁相对固定。本发明的加速度计，完全解决了双轴电容式微机械加速度计的机械交叉耦合问题，降低了测量误差，实现了对加速度的高精度测量。

本发明公开了一种硬度测量计，包括测量头、测量管和手持部；所述测量头镶有压子，用于压入被测物体；所述测量管末端通过导线与手持部电连接；所述手持部包括电路板，所述电路板包括振动控制模块、供电模块、振动输出模块、CPU控制模块、显示模块、数据存储模块和通讯模块。本发明在增加了负荷的状态下进行测量，能够消除压痕的弹性回复对测量结果的影响，测量结果准确，并且负荷较轻，只会在被测物体表面留下微小的压痕，对被测物体影响较小。

本实用新型公开了一种高精度测斜仪，包括支撑柱与测试杆，所述支撑柱的顶部与所述测试杆的底部连接，所述支撑柱的底部安装有稳定板，所述测试杆内安装有发射腔，所述发射腔的一侧安装有若干组发射头，所述发射腔的一侧安装有测试腔，所述测试腔远离所述发射腔的一侧安装有控制腔，所述测试腔内安装有支撑安装板，所述支撑安装板的顶部安装有连接杆，所述连接杆的顶部安装有连接环，所述连接杆的上方安装有测试板，所述连接杆与所述测试板通过所述连接环连接。本实用新型检测快捷，精确度较高，同时操作较为简单。

一种MEMS加速度计，包括：基板以及设置在所述基板上的加速度敏感芯片和集成电路，所述基板上还设置有温度传感器，所述温度传感器紧邻所述加速度敏感芯片；所述加速度敏感芯片包括多个测量体，每个所述测量体包括：质量块以及梳齿结构；所述梳齿结构包括从所述质量块上延伸出的活动梳齿，以及与所述活动梳齿相互间隔设置的固定梳齿，所述活动梳齿与所述固定梳齿形成有差分检测电容；所述梳齿结构为多组，多组梳齿结构分成第一部分和第二部分，第一部分梳齿结构与第二部分梳齿结构活动间隙变化方向相反，第一部分梳齿结构中的一组和第二部分梳齿结构中的一组输出一电信号。本发明的结构解决了传统MEMS加速度计温度系数大，温度滞回大的问题。

本发明公开了一种闭环微机械加速度计反馈方法。本发明采用闭环微机械加速度计反馈装置，产生反馈信号和参考信号，两种信号都被调制到载波上，反馈信号和参考信号同相相加后通过高通滤波器生成左反馈差分电极电压或右反馈差分电极电压，反馈信号和参考信号反相相加后通过高通滤波器生成右反馈差分电极电压或左反馈差分电极电压，左反馈差分电极电压和右反馈差分电极电压分别产生左反馈静电力和右反馈静电力，左反馈静电力和右反馈静电力之和用于抵消外界惯性力。本发明有效降低了由反馈电压引入的低频段噪声，同时可以调整闭环微机械加速度计的灵敏度，从而减小反馈静电合力引入的等效加速度噪声，提高了闭环微机械加速度计的性能。

一种单片集成三轴加速度计芯片，包括单晶基板，该基板包括至少一个单晶膜层部分。由单晶膜形成的单个传感器微结构感测全部三个正交方向的每个上的加速度。至少一个电子电路亦可设置在该芯片上，如用于驱动、检测、控制和信号处理的电路。