基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 微机械加工的集成单片三轴加速度计
• 申请日： 1970-08-21
• 申请号/专利号： CN200480005010.9
• 专利权人： 加里·K·费德;威廉·弗雷;潘志宇;谢会开
• 申请人： 佛罗里达大学
• 分类号： G01P15/125
• 发明人/设计人： 加里·K·费德;威廉·弗雷;潘志宇;谢会开
• 公开日/公告日： 1970.08.21
• 优先权号： G01P15/125
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：一种单片集成三轴加速度计芯片，包括单晶基板，该基板包括至少一个单晶膜层部分。由单晶膜形成的单个传感器微结构感测全部三个正交方向的每个上的加速度。至少一个电子电路亦可设置在该芯片上，如用于驱动、检测、控制和信号处理的电路。

摘要附图：