基本信息
摘要：本发明公开了一种闭环微机械加速度计反馈方法。本发明采用闭环微机械加速度计反馈装置，产生反馈信号和参考信号，两种信号都被调制到载波上，反馈信号和参考信号同相相加后通过高通滤波器生成左反馈差分电极电压或右反馈差分电极电压，反馈信号和参考信号反相相加后通过高通滤波器生成右反馈差分电极电压或左反馈差分电极电压，左反馈差分电极电压和右反馈差分电极电压分别产生左反馈静电力和右反馈静电力，左反馈静电力和右反馈静电力之和用于抵消外界惯性力。本发明有效降低了由反馈电压引入的低频段噪声，同时可以调整闭环微机械加速度计的灵敏度，从而减小反馈静电合力引入的等效加速度噪声，提高了闭环微机械加速度计的性能。
摘要附图：
