基本信息
摘要：本发明涉及一种全解耦双轴电容式微机械加速度计，属于微机电系统中的惯性传感器技术领域。加速度计中，立柱固定在加速度计的基片上，横向和纵向折叠梁通过立柱固定在加速度计的基片上，横向和纵向可动电极分别与横向和纵向折叠梁相对固定，横向和纵向固定电极固定在加速度计的基片上，且分别与横向和纵向可动电极的位置相对，横向隔离梁与纵向可动电极相对固定，纵向隔离梁与横向可动电极相对固定，敏感质量块位于由横向和纵向隔离梁围成的方框中，敏感质量块的四角分别与横向和纵向隔离梁相对固定。本发明的加速度计，完全解决了双轴电容式微机械加速度计的机械交叉耦合问题，降低了测量误差，实现了对加速度的高精度测量。
摘要附图：
