基本信息
摘要：一种加速度计，具有：一个片状检测质量(1)；柔性安装腿(2)，所述柔性安装腿(2)的每一个都与所述检测质量(1)共平面；一个环状支撑件(3)，所述检测质量(1)可移动地安装于其中，每一个安装腿(2)在其一端连结到所述检测质量(1)上，在其另一端连结到所述支撑件(3)上，并且所述安装腿(2)基本上垂直于感测方向延伸；多个交叉的电容器指状元件，在一个气态介质中安装在所述环状安装件(3)上，以便感测所述检测质量(1)沿着感测方向的线性运动，并为所述检测质量(1)提供一个沿着感测方向的气态介质挤压阻尼；所述指状元件、检测质量(1)、安装腿(2)和支撑件(3)共平面，并用一个单一的单晶硅制成；所述指状元件包括横向间隔配置的指状元件的固定第一、第二、第三和第四阵列(5、6、7、8)，所述指状元件阵列基本上垂直于所述共存方向延伸，并远离所述支撑件(3)靠近所述检测质量(1)，以及，横向间隔配置的指状元件的可动的第五、第六、第七和第八阵列，所述阵列基本上垂直于感测方向从所述检测质量(1)向所述支撑件(3)延伸，并固定到所述检测质量(1)上，第一与第五阵列(5、10)以及第三与第七阵列(7、12)的交错结合，以沿着感测方向的一个方向从第一、第二、第三和第四阵列(5、6、7、8)中的相邻的指状元件之间的中线开始的第一偏置距进行，第二与第六阵列(6、11)以及第四与第八阵列(8、13)的交错结合，和第一偏置距大小相等方向相反的第二偏置距进行，以及向指状元件的所述第一偏置阵列(5、10、7、12)提供第一驱动电压、向指状元件的所述第二偏置阵列(6、11、8、13)提供大小相等方向相反的第二驱动电压的装置，使得所述交叉指状元件为所述检测质量响应施加到加速度计上的加速度而感测位移提供保证，驱动并衰减位移。
摘要附图：
