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共4931件专利文献

【实用新型】一种微电子加速度传感器

申请号：CN201120244168.9 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN202177638U 公开/公告日：1970-08-22

申请人：东南大学发明人：秦明;蔡春华

代理人：分类号：G01P15/125

机构代理：

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一种微电子加速度传感器，在玻璃衬底的上方中心设置一与玻璃衬底存有间距并开有通孔的单晶硅质量块，设置四条悬浮折叠梁，其一端分别联接悬浮质量块左、右的四个角，另一端分别连接左、右四个对称布置的单晶硅锚区，设置左、右四个对称布置的悬浮单晶硅感温梁，每个感温梁均为一条粗细不同的折弯梁，首、尾端分别连接各自的单晶硅锚区，在悬浮质量块左右两侧的中点各联接一根朝向相反、水平设置的悬浮单晶硅锁头，在锁头的上下两侧各设有一个与之相配的悬浮单晶硅锁存钩，各锁存钩与各自的单晶硅锚区连接，在悬浮质量块通孔下方对位的玻璃衬底上表面设有金薄膜层，所有的单晶硅锚区均生根于玻璃衬底上表面。

【实用新型】一种MEMS加速度计

申请号：CN201820204732.6 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN208314017U 公开/公告日：1970-08-23

申请人：深迪半导体（上海）有限公司发明人：邹波;郑青龙

代理人：分类号：

机构代理：

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本实用新型提供了一种MEMS加速度计，包括：基板、可动部件以及固定电极组；基板表面具有锚定区域；可动部件通过支撑梁与锚定区域连接，并悬置于基板上方，可动部件包括第一质量块和第二质量块；第一质量块的中部具有第一镂空区域，第一镂空区域为“工”形，第二质量块位于第一镂空区域中；固定电极组包括第一电极组，第一电极组固定于基板表面，位于基板与可动部件之间，并与第一质量块和第二质量块形成Z轴检测电容组，以检测沿Z轴输入的加速度。本实用新型的MEMS加速度计的两个质量块在Y轴方向上间隔设置，使得加速度计不仅可以减小应力引起的基板翘曲的影响，还可以减小质量块初始状态的偏转引起的零偏。

【发明专利】一种基于微机电加速度计的车用仪表盘

申请号：CN202010596722.3 申请日：1970-08-23

公开/公告号：CN111674261A 公开/公告日：1970-08-23

申请人：宁波科达仪表有限公司发明人：项波

代理人：分类号：B60K37/04

机构代理：

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本发明公开了一种基于微机电加速度计的车用仪表盘，包括壳体以及主电路板，还包括副电路板以及连接壳体内侧的若干安装柱，所述若干安装柱包括与上壳体固定的上安装柱以及与下壳体固定的下安装柱，主电路板通过下安装柱固定连接下壳体，所述副电路板上设有微机电加速度计以及微机电加速度计的工作电路，所述副电路板与主电路板电连接，副电路板通过弹簧与安装柱连接。本发明通过特殊的安装结构，将微机电加速度计合理地与车用仪表盘结合，减少振动带来的影响，起到避震效果，提高检测的稳定性，提高使用寿命，利于精密传感器与仪表盘的整合。

【实用新型】一种三轴加速度计

申请号：CN201922206603.8 申请日：1970-08-23

公开/公告号：CN211263522U 公开/公告日：1970-08-23

申请人：西安航天精密机电研究所发明人：何晓霞;党建军;冯东棉;张宇航;张阳;李军朔;杜剑;王文一

代理人：分类号：G01P15/18

机构代理：

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本实用新型属于石英加速度计，为解决现有技术中石英挠性加速度计只能单向测量且拆卸维修困难，若要实现三向测量，需要将三个加速度计通过过渡台体安装在一起，造成精度差、重量大、体积大、测量标定过程繁琐的技术问题，通过提供一种三轴加速度计，壳体包括一个横向部分和一个纵向部分，纵向部分的一端位于横向部分的一侧，两者之间形成一个T字型的结构；横向部分内安装有两个表芯，一个表芯的输出端朝向横向部分的上侧，另一个表芯的输出端朝向横向部分的端部侧面；壳体的纵向部分内安装有一个输出端朝向前侧的表芯；三个表芯相互独立设置；伺服电路插接于表芯的输出端，与表芯电气连接；伺服电路的外侧设有用于外接的接线柱。

【发明专利】电磁流量计及流量测定方法

申请号：CN94109156.2 申请日：1970-08-20

公开/公告号：CN1052067C 公开/公告日：1970-08-20

申请人：株式会社东芝发明人：樋口隆司

代理人：分类号：

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本发明的电磁流量计包括，使作为测量对象的流体流过的测量管，对在垂直于上述流体流动方向的平面上的第一方向以及与第一方向相反的第二方向上所加的磁场施加定期切换的交变磁场的交变磁场施加装置，在同一周期内的相同方向上对由上述第一方向和上述第二方向上的磁场在上述流体中产生的感应电势进行多次采样的采样装置，对上述多次采样的采样值中超过所定范围的采样值进行排除和将其转换成模拟值中的任一种结果进行运算并得到流量的运算装置。

【发明专利】一种微机电系统热式流量计

申请号：CN200910045618.9 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN101782410A 公开/公告日：1970-08-21

申请人：复旦大学发明人：陈则

代理人：分类号：G01F1/68

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本发明属传感器技术领域和微机电系统技术领域，涉及一种基于流量传感技术中热式流量测量原理并利用微机电系统的加工技术制造的流量计。包括一个主热源，与主热源等距的一组测热单元，一组辅助热源，以及相应的主热源和辅助热源的控制电路。本发明流量计同时具有温差式高灵敏度和风速计式宽量程的特点，能实现更高的灵敏度和更宽的量程，并且利用微机点系统技术制成亚毫米级尺寸的热式流量计更具有压力损失可忽略、热响应速度快、一致性好等优点。

【发明专利】制造磁感应流量计的线圈保持架的方法以及磁感应流量计

申请号：CN201880045080.9 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN110914648B 公开/公告日：1970-08-23

申请人：恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司发明人：比特·楚丁

代理人：分类号：

机构代理：

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本发明涉及制造磁感应流量计的线圈保持架的方法以及磁感应流量计，该方法通过注射成型来制造，线圈保持架具有封装在塑料铸件中的两个线圈芯，这两个线圈芯每个都具有第一纵向轴线，该方法包括以下步骤：在第一方法步骤中，提供具有铸造容积的铸造模具和两个线圈芯并对其进行定位，每个线圈芯具有两个端面和侧向表面，每个线圈芯的端面优选与所述的第一纵向轴线正交，侧向表面具有中心区域和定界中心区域的两个外部区域，铸造容积在相应的线圈区域中完全地包围中心区域，外部区域和端面与铸造容积间隔开；在第二方法步骤中，由塑料填充铸造容积；在第三方法步骤中，使塑料硬化；在第四方法步骤中，从塑料铸件中移除铸造模具，铸造容积是连续的。

【发明专利】自动化图案保真度测量计划产生

申请号：CN202010769210.2 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN111882552A 公开/公告日：1970-08-23

申请人：科磊股份有限公司发明人：A·古普塔;B·达菲;夏清

代理人：分类号：G01N21/95

机构代理：

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本发明涉及自动化图案保真度测量计划产生。具体的，本发明提供用于确定将对样品执行的计量过程的参数的方法及系统。一种系统包含一或多个计算机子系统，所述一或多个计算机子系统经配置以用于基于针对所述样品的设计而自动产生将在对所述样品执行的计量过程期间利用所述测量子系统测量的所关注区域ROI。所述计算机子系统还经配置以用于分别基于针对所述样品的所述设计的位于所述ROI的第一子集及第二子集中的部分而自动确定在所述计量过程期间利用所述测量子系统在所述ROI的所述第一子集及所述第二子集中执行的测量的参数。在所述第一子集中执行的所述测量的所述参数是单独地且独立于在所述第二子集中执行的所述测量的所述参数而确定。