基本信息
摘要：本实用新型提供了一种MEMS加速度计，包括：基板、可动部件以及固定电极组；基板表面具有锚定区域；可动部件通过支撑梁与锚定区域连接，并悬置于基板上方，可动部件包括第一质量块和第二质量块；第一质量块的中部具有第一镂空区域，第一镂空区域为“工”形，第二质量块位于第一镂空区域中；固定电极组包括第一电极组，第一电极组固定于基板表面，位于基板与可动部件之间，并与第一质量块和第二质量块形成Z轴检测电容组，以检测沿Z轴输入的加速度。本实用新型的MEMS加速度计的两个质量块在Y轴方向上间隔设置，使得加速度计不仅可以减小应力引起的基板翘曲的影响，还可以减小质量块初始状态的偏转引起的零偏。
摘要附图：
