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【发明专利】 一种活塞压力计位置温度测量装置
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【实用新型】 数字式倾斜仪
【实用新型】 一种双轴电容式微机械加速度计
【发明专利】 包括质量流量计和密度计的体积流量传感器系统
【发明专利】 用于微机械测量加速度的方法和微机械加速度传感器
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【发明专利】 谐振式微机电加速度传感器及加速度计