基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 用于微机械测量加速度的方法和微机械加速度传感器
• 申请日： 1970-08-21
• 申请号/专利号： CN200680028076.9
• 专利权人： J·苏劳;R·穆鲁贾尔维;T·莱托南;T·萨洛
• 申请人： VTI技术有限公司
• 分类号： G01P15/125
• 发明人/设计人： J·苏劳;R·穆鲁贾尔维;T·莱托南;T·萨洛
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G01P15/125
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明涉及用于测量加速度的测量设备，并且更特定地涉及微机械加速度传感器。本发明试图提供使用微机械加速度传感器用于测量导向到三个或两个维度的加速度的改进的方法，以及改进的微机械加速度传感器。使用本发明，在持续使用中能够监测传感器的功能的可靠性，并且本发明特别适用于相对于数个轴线测量的小尺寸的微机械加速度传感器解决方案。

摘要附图：