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共4931件专利文献

【实用新型】框架式电容硅微机械加速度计

申请号：CN201020208097.2 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN201852851U 公开/公告日：1970-08-22

申请人：南京理工大学发明人：施芹;苏岩;裘安萍

代理人：分类号：G01P15/125

机构代理：

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本实用新型公开了一种框架式电容硅微机械加速度计，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的加速度计机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，加速度计机械结构由框架式质量块、U型支撑梁、固定检测梳齿和止挡块组成，框架式质量块上的活动梳齿与固定检测梳齿组成差分检测电容，框架式质量块上下端分别通过上支撑梁和下支撑梁与上下固定基座相连，两个止挡块分别制作在上下固定基座上，上下固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。本实用新型框架式质量块降低了交叉轴灵敏度，增加了结构的稳定性。

【发明专利】框架式电容硅微机械加速度计

申请号：CN201010186254.9 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN101858931A 公开/公告日：1970-08-21

申请人：南京理工大学发明人：施芹;苏岩;裘安萍

代理人：分类号：G01P15/125

机构代理：

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本发明公开了一种框架式电容硅微机械加速度计，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的加速度计机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，加速度计机械结构由框架式质量块、U型支撑梁、固定检测梳齿和止挡块组成，框架式质量块上的活动梳齿与固定检测梳齿组成差分检测电容，框架式质量块上下端分别通过上支撑梁和下支撑梁与上下固定基座相连，两个止挡块分别制作在上下固定基座上，上下固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。本发明框架式质量块降低了交叉轴灵敏度，增加了结构的稳定性。

【发明专利】一种双轴谐振式微机械加速度计

申请号：CN200610011957.1 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN100567993C 公开/公告日：1970-08-21

申请人：北京航空航天大学发明人：任杰;樊尚春

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双轴谐振式微机械加速度计包括基片、质量块、悬臂梁、杠杆放大机构、音叉、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡。结构为中心对称图形，通过一个质量块敏感两个正交方向的加速度，质量块呈“回”字型，质量块中间是悬臂梁、杠杆放大机构、音叉、齿枢和驱动电极、检测电极，质量块外围是止挡。发明中的“回”字型的质量块设计能够使元件有限体积下实现较大的质量块；8根悬臂梁组成的弹性支撑实现了两个正交方向的解耦，使两个方向的灵敏度、分辨率都较高；谐振梁采用双端固定音叉的形式，其两端通过细颈结构与外围固连；以对称布置的两个音叉实现谐振频率的差动输出。本发明的结构形式使微机械加速度计在两个正交方向均有较高的灵敏度、分辨率，易于实现高精度的二维加速度测量。

【发明专利】一种双轴谐振式微机械加速度计

申请号：CN200610011957.1 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN1844932A 公开/公告日：1970-08-21

申请人：北京航空航天大学发明人：任杰;樊尚春

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【发明专利】一种电感式测斜仪及其角度测量方法

申请号：CN202110327568.4 申请日：1970-08-23

公开/公告号：CN112880641A 公开/公告日：1970-08-23

申请人：重庆科技学院发明人：李晓东;胡梦;许年春;陈睿

代理人：分类号：G01C25/00

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本发明属于电感式角度测量设备技术领域，涉及一种电感式测斜仪，包括底板、感应片、弧形块；所述弧形块上套设有感应线圈；所述感应片设于弧形块上方，并与底板转动连接；所述弧形块与底板固定连接；一种用于前述测斜仪的角度测量方法，包括如下步骤：S1、标定零位；S2、标定正倾角；S3、标定负倾角；S4、确定倾角与电感值的标定关系式；S5、倾斜角计算。本发明中采用简单的结构，通过标定电感与角度的关系式，将复杂情况下难以实现的角度测量转变为易于实现的电感测量，实现了简单的、经济的倾斜角度测量方式。

【发明专利】加速度计性能测试系统

申请号：CN201710642449.1 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN107422148A 公开/公告日：1970-08-22

申请人：重庆优摩特科技有限公司发明人：王剑锋

代理人：分类号：

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本发明公开了一种加速度计性能测试系统，属于测量技术领域，包括机械部分和控制部分，所述机构部分包括底座及平台本体和驱动电机，所述驱动电机包括电机壳、与电机壳可拆卸固定的定子和同心设置在定子内腔的转子，所述转子在定子内腔的一端与定子为间隙配合，另一端伸出电机壳与平台本体的中心一体设置，并通过双列角接触轴承与电机壳可旋转固定，所述控制部分包括信号敏感元件、采集板、导电环、电源板、计算板、驱动板和显示器，以及设置在所述圆挡环上的电源接口和数据接口。本发明通过机械部分提高了测试系统的刚度和平稳性，实现了加速度计的精确测量，通过控制部分使测试为全自动机械化作业，提高了测试效率及精度。

【实用新型】一种有毒介质中液位测量式浮子流量计

申请号：CN202021511564.9 申请日：1970-08-23

公开/公告号：CN212747921U 公开/公告日：1970-08-23

申请人：无锡求信流量仪表有限公司发明人：徐蠡

代理人：分类号：G01F15/00

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本实用新型的目的在于提供一种有毒介质中液位测量式浮子流量计，用于测量流量，浮子内设有软磁材料环提高浮子测量时的稳定性；包括锥管，浮子，磁性浮动元件，导向管及固定装置；一锥管，上端设置有上法兰，下端设置有下法兰，内部垂直设置有导向管；一浮子，套设在所述导向管外表面，沿导向管上下滑动；一磁性浮动元件，设置在所述导向管内，与浮子配合；一导向管，上端还设置有上堵头与所述上法兰固定，下端还设置有下堵头与下法兰固定；本实用新型的有益效果为：极为优良的抗波动性能：抗波动的结构极小；浮子2内有软磁材料，因检测元件在导向管内，密封可靠、检测元件同介质不接触，不受介质污染影响。

【实用新型】硅微机械谐振式加速度计集成测控装置

申请号：CN201621068613.X 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN206114699U 公开/公告日：1970-08-22

申请人：南京理工大学发明人：夏国明;施芹;裘安萍;赵阳

代理人：分类号：

机构代理：

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本实用新型公开一种硅微机械谐振式加速度计集成测控装置，包括第一振荡电路(302)、第二振荡电路(303)、第一频率测量电路(304)、第二频率测量电路(305)和SPI数字接口(306)；所述第一振荡电路(302)、第二振荡电路(303)，用于通过静电驱动、电容检测的方式控制微机械谐振梁在其谐振频率按照设定的位移保持等幅振动，所述第一频率测量电路(304)、第二频率测量电路(305)，用于测量振荡电路输出的模拟振荡信号的频率并以数字信号输出；所述SPI数字接口(306)，用于向嵌入式处理器(307)传输两路频率测量数字信号。本实用新型体积小、功耗低、噪声小。