基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 谐振式微机电加速度传感器及加速度计
• 申请日： 1970-08-23
• 申请号/专利号： CN201910424429.6
• 专利权人： 刘彬;邹波
• 申请人： 深迪半导体（上海）有限公司
• 分类号：
• 发明人/设计人： 刘彬;邹波
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明提供了一种谐振式微机电加速度传感器及加速度计，所述加速度传感器包括质量块、弹性件，并且限定了第一方向；所述质量块与所述弹性件连接，从而使所述质量块适于沿所述第一方向振动，当沿所述第一方向有加速度输入时，通过静电力使所述质量块的谐振频率发生变化，所述加速度传感器通过检测所述质量块的谐振频率来确定加速度。本发明的加速度计采用至少一个上述加速度传感器。

摘要附图：