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4931件专利文献

【发明专利】 一种转换测量方向的MEMS加速度计及其制造工艺

申请号:CN201710423163.4 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN107389981B 公开/公告日:1970-08-23
申请人:中国科学院地质与地球物理研究所 发明人:于连忠;仇旭萍;李航
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本发明涉及传感器领域,尤其涉及一种转换测量方向的MEMS加速度计及其制造工艺,包括上盖板、器件层以及下盖板;所述器件层包括:锚点、质量块以及连接所述锚点和质量块的弹性梁;所述锚点与所述上盖板以及下盖板相固定;所述质量块的一端连接有弹性梁组,所述弹性梁组包括至少两根对称设置的弹性梁;每根所述弹性梁包括末端和折叠端,所述弹性梁的末端分别与锚点和质量块相连接;每根所述弹性梁的折叠端形成有梳齿结构;两根所述弹性梁上的梳齿结构相互重叠形成加速度检测结构,所述加速度检测结构通过检测所述梳齿结构之间的间距变化来检测加速度;所述梳齿之间的间距变化与所述加速度方向相垂直。

【实用新型】 MEMS三轴加速度计和电子设备

申请号:CN201720708383.7 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN207396529U 公开/公告日:1970-08-22
申请人:意法半导体股份有限公司 发明人:A·托齐奥;F·里奇尼
代理人: 分类号:
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本实用新型涉及MEMS三轴加速度计和电子设备。一种MEMS三轴加速度计设置有感测结构,感应结构具有:单个惯性质量块,惯性质量块具有在由第一和第二水平轴线限定的水平平面中的主延伸部并且在内部限定了第一窗口,第一窗口沿着与水平平面正交的垂直轴线而横贯惯性质量块的整个厚度;以及悬挂结构,悬挂结构被安排在窗口内以用于将惯性质量块弹性地联接至单个锚固元件,锚固元件相对于衬底被固定并且被安排在窗口内,使得惯性质量块悬挂在衬底上方并且能够通过惯性作用执行在检测到对应的加速度分量之后在与第一、第二和第三水平轴线平行的对应感测方向上的第一、第二和第三感测移动。

【实用新型】 一种MEMS加速度计

申请号:CN201820191042.1 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN207964857U 公开/公告日:1970-08-22
申请人:安徽微泰导航电子科技有限公司 发明人:张平;李桂新
代理人: 分类号:G01P15/02
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本实用新型公开了一种MEMS加速度计,包括上衬底与下衬底,所述上衬底的一侧外表面固定安装有散热侧衬底,所述上衬底的上端外表面一侧固定安装有金属引脚,且上衬底靠近金属引脚一侧的上端外表面设有螺钉,所述金属引脚的上端活动安装有引脚橡胶帽,且引脚橡胶帽的上端外表面固定安装有拉环,所述引脚橡胶帽靠近金属引脚的外表面固定安装有套环,所述下衬底设置在上衬底的下方,且下衬底靠近散热侧衬底的外表面设有边框。本实用新型所述的一种MEMS加速度计,设有引脚橡胶帽、散热侧衬底和热敏电阻,能够防止运输途中损坏引脚,并能将仪器产生的热量散发出去,而且能够保护内部电路,带来更好的使用前景。

【发明专利】 高精度可测量液体旋涡流量计

申请号:CN201410048099.2 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN103808376A 公开/公告日:1970-08-22
申请人:合肥精大仪表股份有限公司 发明人:王国武;甘晓梅
代理人: 分类号:
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本发明公开了一种高精度可测量液体旋涡流量计,包括有测量管表体、旋涡发生体、消旋器、旋涡检测传感器和流量积算仪,所述的测量管表体的内腔为三段式结构,入口处为缩口段,中间为直管段,出口处为扩张段,所述的旋涡发生体安装在缩口段内,在直管段的后1/3处开有径向的通孔,在通孔内安装有所述的旋涡检测传感器,所述的消旋器安装在扩张段的尾部,在测量管表体上方安装有支撑筒柱,所述的支撑筒柱罩住旋涡检测传感器,在支撑筒柱的顶部安装所述的流量积算仪,旋涡检测传感器和流量积算仪电气连接。本发明设计新颖、结构简单、整机零部件较少,制造成本低,耐腐蚀、耐磨损,流量计运行压力损失小,节约运行能耗。

【发明专利】 一种U型管压力计及其压力测量方法

申请号:CN201110116085.6 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN102252797B 公开/公告日:1970-08-22
申请人:西华大学 发明人:孟忠伟;彭忆强;曾东建;王永忠;黄海波
代理人: 分类号:
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一种U型管压力计及其压力测量方法,压力计结构为:U型管的底部经加液管与加液罐连通,U型管的右管段向水平方向延伸后伸入过压溢水保护罐内,U型管的左管段与高压侧口管以及水平连接管连通,且三者的交接处设有三通阀,水平连接管外端与水平放空管以及活塞量气筒连通,三者的交接处设有另一三通阀;U型管的左管段上标识有体积刻度。测量方法是:通过三通阀切断高压测口管与U型管的连接,将U型管内高压气体与活塞式量气筒连接,采用活塞式量气筒测量U型管内高压气体在常压状态下的体积,通过计算获得高压气体压力。本发明具有测量精度不随压力的升高而变化,测量压力越高,相对误差越小的特点。

【实用新型】 一种铁路路轨倾斜度测量装置

申请号:CN202020998897.2 申请日:1970-08-23
公开/公告号:CN212109987U 公开/公告日:1970-08-23
申请人:河南长城铁路工程建设咨询有限公司 发明人:朱泽州
代理人: 分类号:G01C9/06
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本实用新型公开了一种铁路路轨倾斜度测量装置包括第一铁轨、第二铁轨、枕木、夹紧组件和测量组件,所述枕木顶部的一侧外壁上安装有第一铁轨;该实用新型,采用夹紧组件和测量组件,夹紧组件中第一夹爪、第一转动轴和第二夹爪的配合,通过螺旋夹紧的方式,将该测量装置固定在铁轨上,空间占用小,代替了弹簧结构和三角支架等稳定方式,降低成本,提高使用寿命;测量组件中多个齿轮的配合使用,减缓了激光灯的移动速度,使测量更加精确,同时测量尺的使用,可以更加直观方便的观察激光灯移动的距离,且该测量组件代替了大多数现有的水准仪、水平尺等测量装置,使该测量装置可以在震动等复杂的环境下使用。

【实用新型】 一种便携式温湿度测定仪

申请号:CN202020813857.6 申请日:1970-08-23
公开/公告号:CN212300421U 公开/公告日:1970-08-23
申请人:信大智能科技(江苏)有限公司 发明人:曹畅
代理人: 分类号:G01D11/16
机构代理:
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本实用新型公开了一种便携式温湿度测定仪,具体涉及温湿度测定仪技术领域,包括测定仪主体,所述测定仪主体内腔底部嵌设有固定盘,所述固定盘内部侧壁固定设有固定板,所述固定板一侧固定设有限位板,所述测定仪主体底部设置有伸缩杆,所述伸缩杆包括第一套管和第二套管,所述第一套管顶端固定设有限位盘,所述限位盘周向侧固定设有限位条,所述限位条与限位盘之间设置有扭簧,所述第一套管一侧贯穿设有通孔。本实用新型通过设有固定盘、固定板、限位板、限位盘、限位条、扭簧、第一套管以及第二套管等结构,在使用的过程中,可以根据测量需要,调节该装置的高度,以满足对高处环境的测量工作,有利于增加该装置的适用性。

【发明专利】 一种高精度陀螺加速度计标定测试系统

申请号:CN201410815654.X 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN104569495A 公开/公告日:1970-08-22
申请人:北京航天控制仪器研究所 发明人:严小军;孙鹏飞;岳辉;李庆溥;杨志超;赵晓萍
代理人: 分类号:
机构代理:
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一种高精度陀螺加速度计标定测试系统,用于陀螺加速度计参数标定与精度测试,属于陀螺加速度计测试领域。一种高精度陀螺加速度计标定测试系统包括直流电源、交流电源、马达电源、外温控、伺服回路、内温控电路、磁悬浮电路、输出电路、第一测试电缆、陀螺加速度计、第二测试电缆、测试工控机,本发明可提供多路隔离直流电源信号;可提供三路隔离交流电源信号;可提供高精度交流马达电源信号;可提供陀螺加速度计温度场调节信号;可提供陀螺加速度计测试所需的伺服回路、内温控电路、磁悬浮电路、输出电路。