基本信息
摘要：本实用新型公开了一种MEMS加速度计，包括上衬底与下衬底，所述上衬底的一侧外表面固定安装有散热侧衬底，所述上衬底的上端外表面一侧固定安装有金属引脚，且上衬底靠近金属引脚一侧的上端外表面设有螺钉，所述金属引脚的上端活动安装有引脚橡胶帽，且引脚橡胶帽的上端外表面固定安装有拉环，所述引脚橡胶帽靠近金属引脚的外表面固定安装有套环，所述下衬底设置在上衬底的下方，且下衬底靠近散热侧衬底的外表面设有边框。本实用新型所述的一种MEMS加速度计，设有引脚橡胶帽、散热侧衬底和热敏电阻，能够防止运输途中损坏引脚，并能将仪器产生的热量散发出去，而且能够保护内部电路，带来更好的使用前景。
摘要附图：
