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共4931件专利文献

【发明专利】硅玻璃键合的栅型高冲击加速度计

申请号：CN200410012356.3 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN1318851C 公开/公告日：1970-08-21

申请人：中国电子科技集团公司第十三研究所发明人：乔彦宾;何洪涛;吝海峰;徐爱东;李海军;杨拥军

代理人：分类号：

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本发明公开了一种硅玻璃键合的栅型高冲击加速度计，它涉及微电子机械工艺加工技术领域中的微电子机械系统结构器件。它由玻璃衬底、差动电极、可动电极、可动电极引线、硅台阶、可动硅片、固定硅片、悬臂梁、硅片构成。本发明在玻璃衬底上制备差动电极，在硅片上制备可动电极，键合为硅玻璃键合片，使差动电极和可动电极之间形成改变面积方式的差动可变电容结构，达到对加速度变化的测量。并且本发明还具有检测电容信号大、灵敏度高；结构简单、可重复性强、成品率高、容易批量加工、成本低廉及能在恶劣环境和高冲击、高过载的条件下使用等优点。特别适用于作各种高冲击、高过载环境下加速度信号和角加速度信号检测的可动微电子机械结构器件。

【发明专利】一种液浮加速度计闭环测试系统及其测试方法

申请号：CN201410394539.X 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN105334349A 公开/公告日：1970-08-22

申请人：上海新跃仪表厂发明人：卢翔;桑小冲;程颢;郭旭升;陈浩

代理人：分类号：G01P21/00

机构代理：

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本发明公开了一种液浮加速度计闭环测试系统，包括液浮加速度计的安装工装、程控电流加矩设备和动力学仿真。液浮加速度计的安装工装用于将重力加速度等分到三个测量轴上，动力学仿真机动态生成飞行器惯性坐标系下的加速度，并转换到液浮加速度计测量系，程控电流加矩设备根据标定的加矩电流和加速度关系给液浮加速度计的自检线圈施加激励电流，同时对三个测量轴上的重力加速度分量进行补偿，星载计算机采集液浮加速度计输出的加速度值进行姿轨控指令解算并输出给采集控制设备，采集控制设备将采集到的姿轨控指令发送给动力学仿真机进行下一周期的解算，从而形成闭环测试。

【发明专利】一种液浮加速度计闭环测试系统及其测试方法

申请号：CN201410394539.X 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN105334349B 公开/公告日：1970-08-22

申请人：上海新跃仪表厂发明人：卢翔;桑小冲;程颢;郭旭升;陈浩

代理人：分类号：G01P21/00

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【实用新型】一种基于微纳光腔的超高精度单轴光学加速度计

申请号：CN201720766971.6 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN206863058U 公开/公告日：1970-08-22

申请人：华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）发明人：卢乾波;姚远;王海涛;白剑;耿安兵;董亭亭;郭劼

代理人：分类号：G01P15/093

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本实用新型涉及一种基于微纳光腔的超高精度单轴光学加速度计，包括微纳光腔组件和激光探测组件，微纳光腔组件包括压电薄膜、微机械放大器、微纳光栅和引线，激光探测组件包括激光器、衰减片、衍射光探测器、基础光探测器、环境光探测器、偏振片、四分之一波片和分光镜，激光器发出激光束分为两束激光，一束激光射入基础光探测器，另一束激光入射到微纳光栅上并且其中一部分激光发生反射式衍射、另一部分激光透过衍射光栅被微机械放大器上表面的高反膜反射再次通过衍射光栅发生透射式衍射，两种衍射光束发生干涉形成光强与微机械放大器的敏感质量块的位移相关的光斑并被倾斜的衍射光探测器探测。该加速度计能超高加速度‑位移转换，抑制了串扰，灵敏度高。

【发明专利】一种双轴分体式差分硅微谐振式加速度计

申请号：CN201410789858.0 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN104501792A 公开/公告日：1970-08-22

申请人：东南大学发明人：李宏生;李晴云;郭海鹏;高阳;黄丽斌

代理人：分类号：

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本发明公开了一种双轴分体式差分硅微谐振式加速度计，包括上层硅微机械结构和下层玻璃基座，上层硅微机械结构键合在玻璃基座上。其中上层硅微机械结构由四部分完全相同的上层硅微机械子结构组成，其中左侧上下两部分结构形成一组差分结构，测量Y方向加速度；右侧上下两部分结构形成另一组差分结构，测量X方向加速度。本发明提出的双轴分体式差分硅微谐振式加速度计，不仅可以有效抑制两组构成差分结构的两个谐振器之间的共模误差，消除两个谐振器之间的耦合影响，而且可以实现X方向和Y方向之间的解耦。

【发明专利】一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路及其制造工艺

申请号：CN201811210146.3 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN109186638B 公开/公告日：1970-08-23

申请人：西安微电子技术研究所发明人：张明;徐鑫;阮晓明

代理人：分类号：

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本发明一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路及其制造工艺，差动电容转换器的信号输入端与加速度计表头中差动电容传感器的信号输出端连接，信号输出端与电流积分器的信号输入端连接，电流积分器的信号输出端与跨导/补偿放大器的信号输入端连接，跨导/补偿放大器的信号输出端与加速度计表头中力矩器的信号输入端连接，加速度计表头中力矩器的信号输出端与V/I转换器的信号输入端连接并与采样电阻的一端连接，V/I转换器的信号输出端输出目标信号，采样电阻的另一端接地。本发明可实现加速度计输出电流标度因数自主控制，采用厚膜混合集成电路工艺制造电路，金属外壳采用平行封焊工艺实现气密性封装，使电路具有更高可靠性，更优散热性能。

【实用新型】一种测量压力反应釜内压的压力计量罐

申请号：CN201821274512.7 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN208824461U 公开/公告日：1970-08-23

申请人：珠海东洋色材有限公司发明人：蔡坤龙

代理人：分类号：B01J4/02

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本实用新型公开了一种测量压力反应釜内压的压力计量罐，包括反应釜本体、联通管、溶剂管、溶剂桶、溶剂泵和压力罐，所述反应釜本体顶端一侧与联通管的一端固定连接，所述联通管上套装有夹套，所述联通管另一端与压力罐内部连通，所述联通管另一端位于压力罐内部底端，所述联通管一侧的压力罐内部与溶剂管的一端连通，且溶剂管的一端位于压力罐内部上方，所述压力罐正面上方嵌入安装有压力显示器，所述压力罐内部顶端固定有压力传感器，所述溶剂管另一端与溶剂泵顶端连通，所述溶剂泵一侧连通有连接管，所述连接管背离溶剂泵的一端与溶剂桶固定连接。本实用新型具有实时测量反应釜本体内的压力，避免反应过程中结晶铵盐堵塞的优点。

【发明专利】一体化智能流量计及测量方法

申请号：CN201110412474.3 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN102393224B 公开/公告日：1970-08-22

申请人：衡阳中微科技开发有限公司发明人：胡海洋

代理人：分类号：G01F1/40

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一体化智能流量计及测量方法，一体化智能流量计由测量管、上游压力传感器组件、下游压力传感器组件、安装支架、计算机数据处理单元、上游流动调整器、内置芯体、下游流动调整器和温度传感器组成。采用内文丘里管作为节流件，提高了测量的准确度与稳定性；同时采用复数个压力传感器采集压力信号，集成的数据处理计算机对采集的压力信号进行模数转换、软件滤波、平均值计算和流速、流量运算，经温度补偿后变换成工业标准的数字信号或工业标准的4-20mA电流信号通过有线或无线输出，能够实现长期稳定、准确的在线计量，尤其在现场不具备长直管段安装条件时，具有独特的计量优势。