基本信息
摘要：本实用新型涉及一种基于微纳光腔的超高精度单轴光学加速度计，包括微纳光腔组件和激光探测组件，微纳光腔组件包括压电薄膜、微机械放大器、微纳光栅和引线，激光探测组件包括激光器、衰减片、衍射光探测器、基础光探测器、环境光探测器、偏振片、四分之一波片和分光镜，激光器发出激光束分为两束激光，一束激光射入基础光探测器，另一束激光入射到微纳光栅上并且其中一部分激光发生反射式衍射、另一部分激光透过衍射光栅被微机械放大器上表面的高反膜反射再次通过衍射光栅发生透射式衍射，两种衍射光束发生干涉形成光强与微机械放大器的敏感质量块的位移相关的光斑并被倾斜的衍射光探测器探测。该加速度计能超高加速度‑位移转换，抑制了串扰，灵敏度高。
摘要附图：
