基本信息
摘要：本发明公开了一种双轴分体式差分硅微谐振式加速度计，包括上层硅微机械结构和下层玻璃基座，上层硅微机械结构键合在玻璃基座上。其中上层硅微机械结构由四部分完全相同的上层硅微机械子结构组成，其中左侧上下两部分结构形成一组差分结构，测量Y方向加速度；右侧上下两部分结构形成另一组差分结构，测量X方向加速度。本发明提出的双轴分体式差分硅微谐振式加速度计，不仅可以有效抑制两组构成差分结构的两个谐振器之间的共模误差，消除两个谐振器之间的耦合影响，而且可以实现X方向和Y方向之间的解耦。
摘要附图：
