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4931件专利文献

【发明专利】 电容式加速度计

申请号:CN201210076677.4 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN103018486B 公开/公告日:1970-08-22
申请人:立积电子股份有限公司 发明人:沈靖凯
代理人: 分类号:
机构代理:
显示摘要
本发明公开了一种电容式加速度计,包括基板及第一半导体结构层。第一半导体结构层设置在基板上,包括第一质量块、二第一支撑基座、第二支撑基座、二第一弹性件、第二弹性件,及第一及第二梳状电容组。二第一及第二支撑基座分别对应第一及第二轴向。每一第一弹性件分别以垂直于第一轴向来回弯折的方式连接在第一质量块及相对应的第一支撑基座间,二第一弹性件的弯折次数彼此相异。第二弹性件以垂直于第二轴向来回弯折的方式连接在第一质量块及第二支撑基座间。第一及第二梳状电容组分别设置在对应第二及第一轴向的位置上且连接于第一质量块。第一轴向垂直于第二轴向。借此,电容式加速度计的体积可进一步地缩减。

【发明专利】 微机电类型的谐振双轴加速度计结构

申请号:CN201180058118.4 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN103250057B 公开/公告日:1970-08-22
申请人:意法半导体股份有限公司;米兰综合工科大学 发明人:A·科里格利亚诺;B·西莫尼;C·科米
代理人: 分类号:G01P15/18
机构代理:
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一种用于MEMS谐振双轴加速度计(16)的微机电检测结构(1;1′)具有:惯性质量体(2;2’),借助弹性元件(8)固定至衬底(30)以便悬置在衬底(30)之上,弹性元件(8)响应于相应线性外部加速(ax,ay)实现惯性质量体(2;2′)的沿属于所述惯性质量体(2;2′)的主延伸的平面(xy)的第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)的惯性移动;以及至少一个第一谐振元件(10a)和至少一个第二谐振元件(10b),具有分别沿第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)的相应纵向延伸,并且通过弹性元件(8)的相应弹性元件机械地耦合到惯性质量体(2;2’),以便在惯性质量体分别沿第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)移动时经受相应的轴向应力(N1,N2)。

【发明专利】 离子型加速度计

申请号:CN02147630.6 申请日:1970-08-21
公开/公告号:CN1490624A 公开/公告日:1970-08-21
申请人:中国科学院地质与地球物理研究所 发明人:汤克云
代理人: 分类号:
机构代理:
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本发明提出一种离子型加速度计设计方案。离子枪[1]、靶屏[2]固定在无磁性真空腔[3]中,离子枪[1]的发射方向与靶屏[2]平面之间有一固定夹角。离子或离子束[4]由离子枪[1]射出。从离子枪[1]发射出的能量(速度)和质量已知的离子或离子束[4],会受到重力场的作用,离子束[4]发生偏转,打在靶屏[2]上,落点的位置可由激光、微电子或光电子方法测定。本发明的优势在于:第一,由于离子枪[1]与靶屏[2]是固定在一起的,即离子[4]飞行的水平距离是已知的,而离子[4]的速度又是已知的,则离子[4]的飞行时间是已知的,这就避免了高精度时间测量的困难,只要测量离子[4]在靶屏[2]平面上的垂直偏移量就可以算出离子相对于靶屏的加速度了;第二,离子[4]的线度极小,定位的精度可以大大提高;第三,本发明不用弹簧等形变器件,避免了由机械疲劳引起的零点漂移和由非线性形变引起的读数误差。

【发明专利】 利用活动测斜仪测量地层水平位移的方法及活动测斜仪

申请号:CN201510896343.5 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN105444738A 公开/公告日:1970-08-22
申请人:山东科技大学 发明人:付厚利;朱合轩;秦哲;陈绪新
代理人: 分类号:G01C9/00
机构代理:
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本发明公开了一种利用活动测斜仪测量地层水平位移的方法,利用活动测斜仪进行水平总位移和水平偏移位移的测量,并根据测量数值计算地层水平位移。本发明同时还公开了活动测斜仪,包括测读仪、GPS定位仪、测斜管及测斜电缆、电缆支架和GPS定位仪连接套,测读仪位于测斜管一侧,且两者单独设置,测斜电缆安装于电缆支架上,GPS定位仪连接套固定于测斜管上端,测斜电缆的一端穿过GPS定位仪连接套与设置于测斜管中的活动探头相连,GPS定位仪连接套上设置有至少一个GPS定位仪,电缆支架上设置有用于将测斜电缆接收信号传输给测读仪的蓝牙。利用本发明可有效缩短钻孔深度,降低经济成本,使测量数据更符合现场实际,为边坡、基坑支护施工提供了更可靠的依据。

【发明专利】 一种应变式智能测斜仪

申请号:CN201810339525.6 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN108267118A 公开/公告日:1970-08-22
申请人:华东交通大学 发明人:张新亚;王宁;童立红;耿大新;胡文韬
代理人: 分类号:
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一种应变式智能测斜仪,包括长方形壳体(1)、传力杆(2)、质量块(5)、电阻应变片(3)、滑动层(4)、端盖(6)和检测电路。本发明应变式智能测斜仪通过仪器接触面(7)与结构物表面贴合,如果结构物表面有倾斜角度存在,本发明测斜仪的质量块在重力作用下会产生下滑力作用在传力杆上,传力杆在外力的作用下产生弹性变形,使粘贴在它表面的电阻应变片也随同产生变形,电阻应变片发生变形后,阻值将会发生变化,经由相应的测量桥路把这一电阻变化转化为电压变化,即电信号,从而实现倾斜角度改变转化为电信号的过程,通过传力杆上两个电阻应变片的正负值,来准确判断出倾斜的方向。

【发明专利】 基于高电子迁移率晶体管HEMT的微加速度计

申请号:CN200910227917.4 申请日:1970-08-21
公开/公告号:CN101718801B 公开/公告日:1970-08-22
申请人:中北大学 发明人:侯婷婷;刘俊;刘国文;唐军;崔兢;张文栋;张斌珍;熊继军;苏淑靖;薛晨阳;谭振新;贾晓娟;马游春
代理人: 分类号:H01L21/335
机构代理:
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本发明涉及微加速度计领域,具体是一种基于高电子迁移率晶体管HEMT的微加速度计。适应了微加速度计应用领域对高灵敏度微加速度计的需要,实现高电子迁移率晶体管HEMT力电转换机理在微加速度计上的应用,所述微加速度计采用以下步骤加工制造:1、应用分子束外延技术在GaAs衬底上生长出如下表1所示材料层结构的薄膜;2、应用微机电器件加工技术在薄膜上加工高电子迁移率晶体管HEMT;3、应用微机电器件加工技术加工微加速度计结构。有效利用高电子迁移率晶体管HEMT的力电转换机理,实现了高电子迁移率晶体管HEMT在微加速度计上的应用,灵敏度高、线性度好,完全可以适应微加速度计应用领域的实际需要。

【发明专利】 使用移动设备中的三轴加速度计/陀螺仪进行步态测量

申请号:CN201580009620.4 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN106061384B 公开/公告日:1970-08-23
申请人:香港浸会大学 发明人:张大健
代理人: 分类号:G01C23/00
机构代理:
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一种使用移动设备中的三轴加速度计/陀螺仪进行步态测量以用于监测和改善运动主体的物理运动的方法,其包括:使用移动设备中的三轴加速度计/陀螺仪以公式表示出:基于所述主体的行走(Walking)、升沉(Heaving)和横向(Lateral)运动的测量的信号,以及指示所述主体在所述运动期间为保持平衡所分配的功率水平的量化指标。

【发明专利】 一种单片集成光学加速度计

申请号:CN201811222619.1 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN109470885A 公开/公告日:1970-08-23
申请人:浙江大学 发明人:佘玄;姚俊杰;杨哲;王晨歌;舒晓武;陈侃
代理人: 分类号:
机构代理:
显示摘要
本发明公开了一种单片集成光学加速度计。本发明包括宽谱光源、加速度敏感单元、光电探测器、基底、制冷片、封装外壳,加速度敏感单元集成了模斑转换器、1:2型Y波导、2:1型Y波导调制器、金属电极;宽谱光源的光经过模斑转换器耦合进1:2型Y波导中,实现3dB分光,两束光经过1:2型Y波导的上下两个分支后进入2:1型Y波导调制器,最后直接耦合进入光电探测器中。本发明的光学加速度计采用马赫曾德干涉仪结构,检测由外界加速度引起的两干涉臂的相位差,不受光源光强波动的影响,探测精度高,器件单片集成在同一基底上,集成度高,体积小,制作工艺简单,具有高的可靠性和环境适应性。