基本信息
摘要：本发明公开了一种电容式加速度计，包括基板及第一半导体结构层。第一半导体结构层设置在基板上，包括第一质量块、二第一支撑基座、第二支撑基座、二第一弹性件、第二弹性件，及第一及第二梳状电容组。二第一及第二支撑基座分别对应第一及第二轴向。每一第一弹性件分别以垂直于第一轴向来回弯折的方式连接在第一质量块及相对应的第一支撑基座间，二第一弹性件的弯折次数彼此相异。第二弹性件以垂直于第二轴向来回弯折的方式连接在第一质量块及第二支撑基座间。第一及第二梳状电容组分别设置在对应第二及第一轴向的位置上且连接于第一质量块。第一轴向垂直于第二轴向。借此，电容式加速度计的体积可进一步地缩减。
摘要附图：
