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共4931件专利文献

【实用新型】激光自混合型加速度传感器

申请号：CN201120513955.9 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN202330458U 公开/公告日：1970-08-22

申请人：安徽大学发明人：俞本立;吕亮;曹志刚;朱军;杜正婷;杨竟宇;翟龙华;赵云鹤

代理人：分类号：

机构代理：

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本实用新型公开了一种激光自混合型加速度传感器，其特征是具有：一圆柱壳，在其内部形成一封闭腔，圆柱壳与被测物体固定连接；一弹性膜片，位于圆柱壳封闭腔的横断面上；在弹性膜片的中央固定设置一敏感质量块；一半导体激光器，是以刚性支架固定设置在圆柱壳封闭腔内，与敏感质量块处在同轴位置上；半导体激光器用于向敏感质量块发出光信号，并接收来自敏感质量块的反馈光信号；以光电探测器作为光电信号转换单元；以信号处理单元接收光电探测器的输出信号，并输出加速度检测信号。本实用新型利用半导体激光自混合效应感测加速度信号，避免了电磁干扰，能够高灵敏度、大动态范围测量待测物体加速度。

【发明专利】一种双空腔压力计芯片及其制造工艺

申请号：CN201610412814.5 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN106124117B 公开/公告日：1970-08-23

申请人：中国科学院地质与地球物理研究所;王文发明人：周显良;张轶铭;曾凡;王文

代理人：分类号：B81C3/00

机构代理：

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本发明涉及传感器领域，特别涉及一种双空腔压力计芯片以及其制造方法。一种压力计，包括腔体、以及设置在所述腔体内的压力计芯片；所述压力计芯片在所述腔体内受被检测的外界压力均匀压缩并且能够自由的产生形变。所述压力计芯片基本由单晶硅制成，包括相互连接的盖板、基板及底板；所述盖板上形成有凹陷部，并与所述基板形成一个密封的上空腔，所述基板与所述盖板之间形成有氧化硅层；所述基板包括压阻测量元件，所述压阻测量元件位于所述上空腔之内；所述底板上形成有凹陷部，并与所述基板形成一个密封的下空腔。本压力计芯片适合测量超高压力，受温度影响较小，可以在高温的环境中使用，而且具有检测精度高、可靠性高、制造成本低等特点。

【发明专利】一种硅MEMS压阻式加速度传感器

申请号：CN200710139407.2 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN101118250B 公开/公告日：1970-08-22

申请人：中国电子科技集团公司第十三研究所发明人：吕树海;徐淑静;杨拥军

代理人：分类号：G01P15/12

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本发明公开了一种硅MEMS压阻式加速度传感器，它属于微机械传感器领域。本发明包括硅框架、质量块、压敏电阻，质量块位于硅框架中，在质量块的左右两侧和硅框架之间设置有互相对称的敏感梁，在质量块的前后两侧中心位置和硅框架之间设有一对对称的扭转梁；所述扭转梁X方向的宽度小于质量块X方向的宽度，扭转梁Z方向的高度大于敏感梁Z方向的高度，所述敏感梁上制作有检测应力大小的压敏电阻。本发明所述的压阻式加速度传感器，是一种利用制作在结构的上表面的压敏电阻来测量横向加速度信号的微传感器，提高了电阻的加工精度、一致性和成品率，并易于实现三轴集成，还具有体积小、质量轻、交叉耦合小、可靠性高、成本低和易于集成的特点。

【实用新型】体积法电子流量计

申请号：CN02279752.1 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN2583640Y 公开/公告日：1970-08-21

申请人：武汉大学发明人：李旺兴;黄纪忠;齐鄂荣

代理人：分类号：

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本实用新型公开了一种体积法电子流量计，涉及一种对水流流量进行测量的仪器。本实用新型根据水流在一定的时间内充满一固定体积的原理设计制作，主要由漏斗、量水圆筒、水位传感器和具有计时、计算、显示等功能的单板机等部件组成。本实用新型利用水位传感器自动测量量水圆筒中被测水体的体积，利用电子单板机进行处理并显示；利用虹吸技术自动排空量水圆筒中被测水体；利用漏斗引入被测水流。本实用新型不需串接于被测设备的水流中，不干扰被测水流的流动，仅需附加在所测设备的水流出口处，因此测量精度高；方便记录，性能价格比高；操作简便，可快捷得到流量成果。主要用于教学，也可用于其它相关场合。

【发明专利】机械传动的数码显示压力计

申请号：CN200410052935.0 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN1657894A 公开/公告日：1970-08-21

申请人：周世杰发明人：周世杰

代理人：分类号：G01L7/04

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本发明提供一种机械传动的数码显示压力计，包括传统机械构造、电子电路板、液晶显示荧幕、电池，本发明是在传统机械构造上增设感应检测装置，配合机械动作，达到感应讯号输出，进而以数码显示压力数值，其主要在于：机械驱动件心轴与遮光轮心轴底侧设成阻尼盘，而压力计在阻尼盘位置设有凹室容设该阻尼盘，凹室内充满阻尼油并以一封盖将该凹室密封，达到阻尼油可产生适当阻力使遮光轮与驱动件的转速减缓的效果，从而使感应检测器可以准确感应压力值。

【发明专利】一种混合拓扑式加速度计标定系统

申请号：CN202011113655.1 申请日：1970-08-23

公开/公告号：CN112114166A 公开/公告日：1970-08-23

申请人：武汉城市职业学院发明人：于来宝;卫璐;宋国强;宋晶;杨中原;毛亚南;甘江明;袁博;詹丽;韦全

代理人：分类号：

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本发明涉及加速度计标定技术，具体是一种混合拓扑式加速度计标定系统。本发明解决了现有加速度计标定系统缺少合理的网络拓扑结构和快捷高效的传输介质的问题。一种混合拓扑式加速度计标定系统，包括终端部分和传输介质部分；所述终端部分包括三个被测加速度计、三个标准加速度计、六个振动速度传感器、三个温度传感器、三个湿度传感器、三个气压传感器、三个磁场传感器、九个无线AP、两个差分放大器、两个Σ‑Δ模数转换器、两个数字抽取滤波器、三个数据隔离器、数据采集器、伺服放大器、基线校正模块、存储服务器、磁盘阵列、PC机、三个激振器、三个信号发生器、三个振动台。本发明适用于加速度计标定。

【发明专利】激光自混合型加速度传感器

申请号：CN201110410557.9 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN102411065A 公开/公告日：1970-08-22

申请人：安徽大学发明人：俞本立;吕亮;曹志刚;朱军;杜正婷;杨竟宇;翟龙华;赵云鹤

代理人：分类号：

机构代理：

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本发明公开了一种激光自混合型加速度传感器，其特征是具有：一圆柱壳，在其内部形成一封闭腔，圆柱壳与被测物体固定连接；一弹性膜片，位于圆柱壳封闭腔的横断面上；在弹性膜片的中央固定设置一敏感质量块；一半导体激光器，是以刚性支架固定设置在圆柱壳封闭腔内，与敏感质量块处在同轴位置上；半导体激光器用于向敏感质量块发出光信号，并接收来自敏感质量块的反馈光信号；以光电探测器作为光电信号转换单元；以信号处理单元接收光电探测器的输出信号，并输出加速度检测信号。本发明利用半导体激光自混合效应感测加速度信号，避免了电磁干扰，能够高灵敏度、大动态范围测量待测物体加速度。

【发明专利】一种基于MEMS敏感元件的复合气体流量计量装置及其测量方法

申请号：CN201210353085.2 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN103674120B 公开/公告日：1970-08-22

申请人：新奥科技发展有限公司发明人：史进超;李国国;李龙;董胜龙;黄忠

代理人：分类号：G01F25/00

机构代理：

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一种基于MEMS敏感元件的气体流量计量装置及其测量方法。该装置由流量计外壳，已经达到预定测量精度要求的MEMS流量传感器和MEMS校准传感器，电路系统，连接电路系统和MEMS校准传感器和MEMS流量传感器的连接插针。在实际的测量过程中，MEMS流量传感器的输出特性会随着测量条件（环境温度、气体压力、分子构成、机械振动等）而发生变化，因此，MEMS校准传感器不断感知当前的测量条件，然后通过校准传感器输出（T，P，C）对流量传感器的模拟信号及计算模型的影响量借助模拟或者数字的方法进行校准，获得精准的流量结果。