基本信息
摘要：一种基于MEMS敏感元件的气体流量计量装置及其测量方法。该装置由流量计外壳，已经达到预定测量精度要求的MEMS流量传感器和MEMS校准传感器，电路系统，连接电路系统和MEMS校准传感器和MEMS流量传感器的连接插针。在实际的测量过程中，MEMS流量传感器的输出特性会随着测量条件（环境温度、气体压力、分子构成、机械振动等）而发生变化，因此，MEMS校准传感器不断感知当前的测量条件，然后通过校准传感器输出（T，P，C）对流量传感器的模拟信号及计算模型的影响量借助模拟或者数字的方法进行校准，获得精准的流量结果。
摘要附图：
