基本信息
摘要：本实用新型公开了一种激光自混合型加速度传感器，其特征是具有：一圆柱壳，在其内部形成一封闭腔，圆柱壳与被测物体固定连接；一弹性膜片，位于圆柱壳封闭腔的横断面上；在弹性膜片的中央固定设置一敏感质量块；一半导体激光器，是以刚性支架固定设置在圆柱壳封闭腔内，与敏感质量块处在同轴位置上；半导体激光器用于向敏感质量块发出光信号，并接收来自敏感质量块的反馈光信号；以光电探测器作为光电信号转换单元；以信号处理单元接收光电探测器的输出信号，并输出加速度检测信号。本实用新型利用半导体激光自混合效应感测加速度信号，避免了电磁干扰，能够高灵敏度、大动态范围测量待测物体加速度。
摘要附图：
