本发明公开了一种可调低刚度微机械加速度计，属于加速度测量技术领域，包括加速度敏感模块、调谐模块、位移检测模块、力反馈模块。加速度敏感模块中质量块通过屈曲弹性梁与基板锚区相连，在加工过程中受内应力作用屈曲弹性梁发生形变，质量块突破自锁结构的约束边界，实现自锁，自锁后处于超柔性工作区间。利用梳齿电容和三角形栅电容调谐设计，实现加速度计的开环刚度可调。加速度计可以在开环和闭环工作方式下工作，其中，在开环工作下，通过位移检测模块检测质量块位移引起的电容变化进而检测外界加速度的变化，并且可以进一步利用力反馈模块栅电容完成闭环控制。本发明结构简单，灵敏度高，可应用于微弱加速度信号检测。

一种可工程化的MEMS加速度计，包括加速度敏感芯片、信号转换电路、第一金属管壳、第二金属管壳、第一基板、第二基板、信号调节电路。其中加速度计还包括温度传感器，其紧邻所述加速度敏感芯片；所述加速度敏感芯片、信号转换电路和温度传感器封装为独立的第一模块，所述信号调节电路在调试后封装为独立的第二模块，第二模块晚于第一模块封装。其中信号转换电路包括C-V转换电路、电压基准源裸芯片；信号调节电路包括校正和反馈电路、零位调节电路和滤波电路。本发明解决了MEMS加速度计工程化的诸多难题，特别是温度特性、冲击及过载的环境适应性，可用于制作惯性测量和惯性导航的加速度敏感元件，也可以作为桥梁健康监测等领域的加速度测量元件。

本发明公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成，微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方；微机械加速度敏感单元从上到下依次为光栅、质量块‑悬臂梁‑硅基底微机械结构和下限位板。微机械加速度敏感单元将外界输入的加速度转化为质量块的位移，光学微位移测量单元将位移量转化为电信号并实现高精度的加速度测量。本发明能保证微机械结构在大冲击下不失效，固定封装的光学微位移测量单元能保证各个光学元件在大冲击下不损毁，相对位置保持不变，从而实现抗大冲击的高精度加速度测量。

本发明包括一种系统和一种方法，通过所述系统和方法可感应例如平台的机械元件的倾角，并可消除可能由切向和径向加速度导致的误差。所述平台限定了正交的X轴和Y轴，以及与X轴和Y轴二者正交的Z轴。所述平台可围绕平行于Z轴延伸的轴旋转。所述系统包括测斜仪，所述测斜仪被安装在平台上与旋转轴相隔距离r的位置，所述测斜仪用于提供指示X和Y方向上的加速度的测斜仪输出，所述测斜仪输出分别被指定为I_x和I_y。从旋转轴到测斜仪的直线与X轴形成夹角B。速率陀螺被安装在平台上。所述速率陀螺感应平台围绕旋转轴的旋转速度w，并提供指示旋转速度w的速率陀螺输出。一个电路对所述速率陀螺输出求微分以确定平台的角加速度dw/dt。一个电路用值r乘以所述角加速度，以确定平台上安装了测斜仪的点处的切向加速度r(dw/dt)。一个电路分解平台上安装了测斜仪的点处的切向加速度以确定其X轴分量，并分解平台上安装了测斜仪的点处的切向加速度以确定其Y轴分量。一个电路从平行于X轴的方向上感应的加速度I_x中减去平台上安装了测斜仪的点处的切向加速度的X轴分量，并且从平行于Y轴的方向上感应的加速度I_y中减去平台上安装了测斜仪的点处的切向加速度的Y轴分量。结果，所述测斜仪输出I_x和I_y校正由径向加速度导致的误差。

本公开涉及一种液位测量传感器及液位计。液位测量传感器包括传感器本体和感器引线，所述传感器本体呈柱状且包括外部金属电极、内部金属电极以及绝缘包覆层，所述绝缘包覆层包覆在所述内部金属电极的外表面，所述外部金属电极间隔套设在所述绝缘包覆层的外侧，且所述外部金属电极的侧壁上设置有导孔，所述传感器引线的一端伸入所述传感器本体的内部且所述传感器引线的引线芯线与所述内部金属电极电连接，所述传感器引线的另一端用于与液位计的液位计表头电连接，所述外部金属电极与所述传感器引线的外层屏蔽层电连接，所述传感器本体的径向尺寸为5mm～10mm。该液位测量传感器能够有效减小待检测液体的温度损失。

本实用新型公开了一种基于加速度计的数字倾角仪，包括信息处理单元，还包括加速度计传感器单元、报警单元和液晶显示单元，其中加速度计传感器单元与信息处理单元输入端相连，信息处理单元输出端分别与报警单元和液晶显示单元相连。本实用新型提高了测量精度和测量范围，并且携带方便，可大大地提高工作效率。具有制作方便，电路简单，成本低等特点。

本实用新型涉及石油测井领域中能够进行倾斜角和方位角测量的装置，特别涉及一种能够测量井眼轨迹的连续测斜仪测量模块。为提供一种抗振性能好、尺寸小、使用简便的连续测斜仪测量模块，本实用新型的技术方案是：连续测斜仪测量模块，包括加速度传感器、磁传感器，加速度传感器为微电子机械系统MEMS，每个微电子机械系统MEMS提供X、Y两个轴，由两个微电子机械系统MEMS组成三轴正交系统，三轴正交系统连接到单片机，还包括温度传感器，温度传感器和磁传感器分别连接到单片机，单片机连接数据采集系统。本实用新型主要用于测井领域中进行倾斜角和方位角测量。

双轴电容式微机械加速度计包括基片、质量块、弹性支撑、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡，结构为中心对称图形，通过一个质量块敏感两个正交方向的加速度。质量块居于结构的中心，质量块外围是弹性支撑、止挡、驱动电极和检测电极。设计的弹性支撑较好地实现了两个正交方向的解耦，使两个方向的灵敏度、分辨率都较高。弹性支撑是以正方形的四个角为锚点，其结构稳定性好。以梳齿电容的形式实现差动的静电驱动、电容检测，提高了加速度计的灵敏度和分辨率。此结构易于实现高精度的二维加速度测量。