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共4931件专利文献

【发明专利】低噪声多轴微机电系统加速度计

申请号：CN202010953106.9 申请日：1970-08-23

公开/公告号：CN112485470A 公开/公告日：1970-08-23

申请人：株式会社村田制作所发明人：安斯·布卢姆奎斯特;汉努·维斯特林;维莱-佩卡·吕特克宁

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本发明涉及低噪声多轴微机电系统加速度计。本发明通过使用较大的单个检测质量块测量沿两个正交轴的加速度提供了一种高精度、低噪声的MEMS加速度计。新颖的电极布置可以被动地防止加速度测量中的跨轴误差。新颖的弹簧布置和新颖的检测质量块布局进一步降低了噪声。

【发明专利】一种可工程化的MEMS加速度计

申请号：CN201410182218.3 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN103954795B 公开/公告日：1970-08-22

申请人：中国科学院地质与地球物理研究所发明人：薛旭

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一种可工程化的MEMS加速度计，包括加速度敏感芯片、信号转换电路、第一金属管壳、第二金属管壳、第一基板、第二基板、信号调节电路。其中加速度计还包括温度传感器，其紧邻所述加速度敏感芯片；所述加速度敏感芯片、信号转换电路和温度传感器封装为独立的第一模块，所述信号调节电路在调试后封装为独立的第二模块，第二模块晚于第一模块封装。其中信号转换电路包括C-V转换电路、电压基准源裸芯片；信号调节电路包括校正和反馈电路、零位调节电路和滤波电路。本发明解决了MEMS加速度计工程化的诸多难题，特别是温度特性、冲击及过载的环境适应性，可用于制作惯性测量和惯性导航的加速度敏感元件，也可以作为桥梁健康监测等领域的加速度测量元件。

【发明专利】磁感应流量计和用于这种流量计的测量管

申请号：CN200680016963.4 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN101194147A 公开/公告日：1970-08-21

申请人：恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司发明人：托马斯·青格;西蒙·斯廷格林

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根据本发明，用于磁感应流量计的测量管(2)至少部分由导磁材料制造，其相对导磁率μ_r充分大于1。测量管至少成比例地由铁磁金属构成。

【实用新型】无线温度测量计

申请号：CN201120030570.7 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN202002734U 公开/公告日：1970-08-22

申请人：杨莉发明人：刘洋滔;杨莉

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本实用新型公开了一种无线温度测量计，它包括前置信号端和信号接收端，前置信号端由依次连接的温度传感器、信号处理模块Ⅰ和无线发射模块构成；信号接收端由依次连接的无线接收模块、信号处理模块Ⅱ和输出模块构成，无线接收模块用于接收无线发射模块所发射信号。使用时，直接将前置信号端固定在测温部位即可，此时在输出模块上即可得到测温对象的体温。本实用新型可以极大的减轻检测人员的工作繁杂度和强度，减少对被测个体的侵扰，并且能对温度进行实时监控，有效地掌握温度的变化趋势，特别适合在医院或家庭中对需要进行体温监控的个体使用。

【发明专利】微机械加速度计器件的圆片级封装工艺

申请号：CN200510030805.1 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN100422071C 公开/公告日：1970-08-21

申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所发明人：张鲲;李昕欣;杨恒;王跃林;罗乐

代理人：分类号：G01P15/00

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本发明涉及一种微机械加速度计圆片级封装工艺，其特征在于，采用粘接键合和深反应离子刻蚀微机械体加工工艺技术相结合，所述的圆片级封装工艺步骤是：使用各向异性腐蚀溶剂氢氧化钾双面同时腐蚀出保护腔体和未穿通的引线通孔；使用干刻蚀型苯丙环丁烯，涂覆于盖板的保护腔体一面的整个正面，即有保护腔体的这一面；使用键合机完成盖板硅片和微机械加速度器件的硅片的键合；利用深反应离子刻蚀技术将铝引线处通孔刻蚀穿通。本发明提供的圆片级封装工艺采用的设备和工艺均为微机械加工的常规工艺和设备，具有通用中性强特点，适用于从低量程微机械加速度计到高冲击微机械加速度计的制作。

【发明专利】加速度计壳体测试用装置

申请号：CN201110300890.4 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN102508033A 公开/公告日：1970-08-22

申请人：中国航空工业第六一八研究所发明人：宋光;晏效锋;范学江;赵晓琴;邓秀峰;陈亮;韩敏

代理人：分类号：G01R27/26

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本发明属于测量技术，涉及一种用于加速度计壳体绝缘电阻和电容检测的测试工装。本发明加速度计壳体测试用装置包括基座[22]，该基座上设置有由旋转基座[1]、蜗轮[20]、蜗杆[19]、导向套[9、]导向柱[10]、锁定销[14]、探针固定套[6]、限位孔[21]和旋转轴[16]组成的位移转换机构。本发明加计壳体测试用装置通过旋转杆带动测试探针旋转，可以实现被测产品在重力场内360°任意角度旋转的定位监测，可以对测量点的进行精确定位，并通过导向柱下压带动测试探针对加速度计壳体绝缘电阻和电容进行测试，保证了测试精度，能实现单人操作，能提高10倍工作效率。

【发明专利】用于测量流的磁通流量计

申请号：CN201080014252.X 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN102365530B 公开/公告日：1970-08-22

申请人：罗斯蒙德公司发明人：斯科特·R·弗斯;罗伯特·K·舒尔兹

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用于测量过程流体流的流动的磁通流量计(102)，包括流量管(108)，流量管(108)被布置为接收通过其的过程流体流。临近该流量管(108)的磁激励线圈(122)被布置为响应激励信号，将磁场施加到流中。至少一个电极(124)被布置为感测过程流体的电势，该电势与所施加的磁场以及过程流体的流速有关。温度测量电路(180)耦合到磁激励线圈(122)，并被配置为基于激励线圈(122)的电参数，提供对激励线圈(122)的温度进行指示的温度输出。耦合到该至少一个电极(124)的流测量电路(148)被配置为基于所感测到的电势，提供流输出。

【实用新型】物位测量计

申请号：CN92230124.7 申请日：1970-08-19

公开/公告号：CN2143767Y 公开/公告日：1970-08-20

申请人：李世开发明人：李世开

代理人：分类号：

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本实用新型公开了一种物位测量计，它由机械传动系统、微机控制系统、电机构成，电机的一端与蜗杆蜗轮相连接，并带动其转动。本实用新型由钢带取代了传统的钢丝绳，钢带绕过卷尺轮(卷尺轮与蜗轮蜗杆配合)后从定距辊与摩擦辊之间穿过然后绕在荷重滑轮上，经过荷重滑轮垂直向下系在触头上。微机采集传感器的信号，并控制电机的运行，实现自动测量。测量数据输入数字显示器，从而实现对物位的测量。