基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 低噪声多轴微机电系统加速度计
• 申请日： 1970-08-23
• 申请号/专利号： CN202010953106.9
• 专利权人： 安斯·布卢姆奎斯特;汉努·维斯特林;维莱-佩卡·吕特克宁
• 申请人： 株式会社村田制作所
• 分类号：
• 发明人/设计人： 安斯·布卢姆奎斯特;汉努·维斯特林;维莱-佩卡·吕特克宁
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明涉及低噪声多轴微机电系统加速度计。本发明通过使用较大的单个检测质量块测量沿两个正交轴的加速度提供了一种高精度、低噪声的MEMS加速度计。新颖的电极布置可以被动地防止加速度测量中的跨轴误差。新颖的弹簧布置和新颖的检测质量块布局进一步降低了噪声。

摘要附图：