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共4931件专利文献

【发明专利】单芯片硅集成三轴高频宽高冲击加速度计及其制作方法

申请号：CN201610703474.1 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN106053881B 公开/公告日：1970-08-23

申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所发明人：李昕欣;王家畴;邹宏硕

代理人：分类号：

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本发明提供一种单芯片硅集成三轴高频宽高冲击加速度计及其制作方法。通过使用一对质量块、第一直拉直压梁、第二直拉直压梁、第一连接板及第二连接板的组合作为Z轴微机械敏感结构单元，将垂直表面Z轴加速度引起的结构形变转化为易于检测的表面内直拉直压梁的拉压，解决了目前垂直表面Z轴加速计不能同时获得高灵敏度及高谐振频率这一问题。综合考虑晶向对各向异性腐蚀、压阻系数等影响，优化结构布局，实现了小芯片上三轴高频宽高冲击加速度计的集成。提供了一套可靠的制作方法，使加速度计同时具备工艺简单、制造成本低廉、芯片尺寸小、结构强度高、适于批量生产等优势。

【发明专利】提高加速度计校准精度的方法与系统

申请号：CN201410060702.9 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN103823083B 公开/公告日：1970-08-22

申请人：工业和信息化部电子第五研究所发明人：李向光;王蕴辉;黄钦文

代理人：分类号：

机构代理：

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本发明公开了一种提高加速度计校准精度的方法与系统，针对特定的稳速台输出加速度，设定随动台处于0度位置和180度位置，并分别测量固定在随动台上的加速度计的输出值。设定多个输出加速度，可以获得多组加速度计输出值，可实现对校准过程中加速度计的工作半径误差进行测试评估，由所获得的结果，可以对所校准的加速度计性能参数进行修正，消除工作半径误差所带来的影响，提高校准精度，降低校准过程中对加速度计的安装要求。

【实用新型】射孔瞬间机械压力计保护器

申请号：CN97244376.2 申请日：1970-08-20

公开/公告号：CN2314090Y 公开/公告日：1970-08-20

申请人：大庆石油管理局试油试采公司发明人：于振东;刘河秀;尹洪东;石景春;郭伟;郭冀义

代理人：分类号：E21B47/00

机构代理：

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射孔瞬间机械压力计保护器涉及射孔—测试联作中的一种保护装置,为了在射孔—测试联作使用时,即能减缓机械压力计的震动;又能阻止射孔瞬间高压对机械压力机的传压部分的过压冲击损坏,设计了一种保护器,它主要由纵向减震、径向减震、瞬间过压保护三大部分组成,该装置用于保护机械压力计在射孔—测试联作中顺利应用,具有有效的保护机械压力计等优点。

【发明专利】车辆车体倾斜仪

申请号：CN201410671823.7 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN104359460A 公开/公告日：1970-08-22

申请人：柳州科路测量仪器有限责任公司发明人：古韬

代理人：分类号：G01C9/02

机构代理：

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本发明公开了一种车辆车体倾斜仪，涉及检测检具制造技术领域，包括套装在套杆中的滑杆，所述滑杆上部设有上基座，所述套杆下部设有下基座、垂直度测量仪，所述上基座和所述下基座均设有工作面，所述上基座的工作面和所述下基座的工作面在同一平面，所述工作面设有磁性体。与现有技术相比，本发明结构简单，操作方便，测量铁路车辆的车厢车体倾斜量精度高，确保车厢质量，同时提高了作业效率，降低了劳动强度，生产安全性能得到提高。

【发明专利】一种MEMS三轴加速度计

申请号：CN201510368756.6 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN104931729B 公开/公告日：1970-08-22

申请人：歌尔股份有限公司发明人：郑国光

代理人：分类号：

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本发明公开了MEMS三轴加速度计，包括基板和悬置于基板上方的扭动质量块；扭动质量块为中心对称结构，包括主质量块和第一、第二次质量块，以及平行于y轴的四条弹性连接梁；第一次质量块的左侧/右侧边缘通过第一弹性连接梁和主质量块连接，第二次质量块的右侧/左侧边缘通过第二弹性连接梁和主质量块连接；第一次质量块的中心通过第三弹性连接梁连接在基板的第一锚点上，第二次质量块的中心通过第四弹性连接梁连接在基板的第二锚点上；第一、第二次质量块设有第一、第二、第三可动电极，基板上设置有与第一、第二、第三可动电极组成x轴、y轴、z轴检测电容的第一、第二、第三固定电极。本发明能够消除外界干扰，并且制造工艺过程简单易实现。

【实用新型】固定式容栅编码器测斜装置、测斜仪、测斜设备及测斜系统

申请号：CN201721294538.3 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN207231472U 公开/公告日：1970-08-22

申请人：唐柯鸿发明人：唐柯鸿;封逢成;徐成家;武牧之

代理人：分类号：G01C9/12

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本实用新型涉及一种固定式容栅编码器测斜装置、测斜仪、测斜设备及测斜系统。该测斜装置、测斜仪利用容栅编码器原理，通过测量装置倾斜角度，进而推算出被测土层内部的偏移量，可使该固定式容栅编码器测斜装置、测斜仪在相对低廉的成本下，达到更高的检测精度。该测斜设备采用若干测斜仪固定安装在导管内，无需人工操作测斜仪在导管内升降，在保证整体成本低、测量精度高的前提下，能够实现自动化实时连续测量。该测斜系统则可以实现远程或本地交互，读取数据更为方便，安全性更高。

【发明专利】不等基频硅微谐振式加速度计

申请号：CN201110103335.2 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN102243251A 公开/公告日：1970-08-22

申请人：东南大学发明人：李宏生;杨波;王寿荣;陈卫卫;黄丽斌

代理人：分类号：G01P15/097

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本发明公开了一种不等基频硅微谐振式加速度计，其特征在于：该加速度计包括玻璃基底、引线层、键合层和硅结构层，最下层为玻璃基底，在玻璃基底的上表面溅射金属作为引线层，通过键合层把硅结构层悬置于玻璃基底之上；其中硅结构层包括上质量块（1a）、与上质量块（1a）相连的下质量块（1b）、第一折叠梁（6a）、第二折叠梁（6b），上质量块(1a)与下质量块（1b）关于硅结构层水平轴对称放置，且中通过第一折叠梁（6a）、第二折叠梁（6b）相连。本发明提供的不等基频硅微谐振式加速度计，可以在全量程范围内消除模态耦合的影响，去除测量盲区，同时释放结构加工过程中产生的残余应力和减小由于材料热膨胀产生的应力。

【发明专利】物理量传感器和物理量计测方法

申请号：CN201010131486.4 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN102192707B 公开/公告日：1970-08-22

申请人：阿自倍尔株式会社发明人：上野达也

代理人：分类号：G01D5/34

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本发明的物理量传感器，其以高的分辨能力对物体的位移和速度进行计测，缩短计测所需时间。该物理量传感器包括：对测定对象(10)发射激光的半导体激光器(1)；激光驱动器(4)，其使得所述半导体激光器(1)动作以使振荡波长连续单调增加的第一振动期间和振动波长连续单调减少的第二振荡期间中的至少一种反复出现；光电二极管(2)和电流-电压变换放大部(5)，其检测包含干涉波形的电信号，所述干涉波形由从半导体激光器(1)发射的激光和物体(10)的返回光的自混合效应产生；信号提取部(7)，其对包含在电流-电压变换放大部(5)的输出信号中的干涉波形的周期进行计测；计算部(8)，通过对信号提取部(7)的计测结果和基准周期进行比较来对该计测结果进行修正，并根据修正后的各周期计算物体(10)的位移和速度中的至少一项。