基本信息
摘要：本发明公开了MEMS三轴加速度计，包括基板和悬置于基板上方的扭动质量块；扭动质量块为中心对称结构，包括主质量块和第一、第二次质量块，以及平行于y轴的四条弹性连接梁；第一次质量块的左侧/右侧边缘通过第一弹性连接梁和主质量块连接，第二次质量块的右侧/左侧边缘通过第二弹性连接梁和主质量块连接；第一次质量块的中心通过第三弹性连接梁连接在基板的第一锚点上，第二次质量块的中心通过第四弹性连接梁连接在基板的第二锚点上；第一、第二次质量块设有第一、第二、第三可动电极，基板上设置有与第一、第二、第三可动电极组成x轴、y轴、z轴检测电容的第一、第二、第三固定电极。本发明能够消除外界干扰，并且制造工艺过程简单易实现。
摘要附图：
