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共4931件专利文献

【发明专利】微机电加速度计的制造方法

申请号：CN201210353245.3 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN102879607B 公开/公告日：1970-08-22

申请人：北京金禾天晟高新技术有限责任公司发明人：刘礼;岳新波;赵邦六

代理人：分类号：G01P15/125

机构代理：

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微机电加速度计及其制造方法，包括：对包括依次层叠的第一硅层、氧化物层以及第二硅层的绝缘体上硅晶片进行第一刻蚀，以在所述第一硅层中形成延伸至所述氧化物层的若干个第一刻痕，从而利用所述第一硅层形成所述微机电加速度计的质量体的两个支脚；对所述绝缘体上硅晶片进行第二刻蚀，以在所述第二硅层中形成延伸至所述氧化物层的若干个第二刻痕，从而利用所述第二硅层形成所述微机电加速度计的质量体中的电极；以及对所述氧化物层进行刻蚀，以使得所述两个支脚之间的第一硅层脱离。由于能够免切割地形成大尺寸的质量体，根据本发明实施例实现了高产能和高灵敏度。

【实用新型】模板倾斜度测量仪

申请号：CN201720072015.8 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN206399418U 公开/公告日：1970-08-22

申请人：重庆工程职业技术学院发明人：刘燕;卢强;彭军;陈杨

代理人：分类号：G01C9/12

机构代理：

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本实用新型公开了模板倾斜度测量仪，属于测量倾斜度的技术领域，包括水平板，所述水平板的一侧均匀设置有用于确定模板倾斜面的四个支撑腿，其中两个支撑腿之间连接有水平仪，所述支撑腿与水平板之间螺纹连接，水平板的另一侧垂直水平板固定连接有竖直杆，所述竖直杆上连接有量角器，所述量角器的原点处连接有指针坠。本方案本技术方案有效解决了现有技术中模板上有加强筋，不容易测量模板倾斜角度的问题，测量出的倾斜度比较精确，且设计简单，容易操作，实用性强，便于在建筑行业中进行推广。

【实用新型】一种基于零位校正的微机械MEMS加速度计

申请号：CN201920791579.6 申请日：1970-08-23

公开/公告号：CN209746002U 公开/公告日：1970-08-23

申请人：四川知微传感技术有限公司发明人：周骏;山永启;王志;王龙峰;雷龙海

代理人：分类号：G01P15/125

机构代理：

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本实用新型公开了一种基于零位校正的微机械MEMS加速度计，包括：基片，基片上设有氧化层，若干个锚点通过氧化层固定在基片上，氧化层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：差动电容检测结构、加速度计闭环反馈电极结构、若干个悬臂梁、零位校正结构、敏感质量块、2个止挡结构、2个固定结构；通过对加速度计结构的设计可以校正结构由于加工误差、安装误差以及环境温度等变化带来的零位输出变化不一的问题，消除由于零位变化对器件稳定性、温度特性等性能造成的影响。

【实用新型】医用卫生级温度液位一体测量计

申请号：CN202021140923.4 申请日：1970-08-23

公开/公告号：CN212206420U 公开/公告日：1970-08-23

申请人：北京晨淼科技有限公司发明人：李武鹏

代理人：分类号：G01K13/00

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本申请公开了一种医用卫生级温度液位一体测量计，包括有用于测量配液罐内液体液位的测量传感器、连接在所述测量传感器顶端的液位变送器变送单元与所述液位变送器变送单元电连接的液位温度显示仪表，所述测量传感器包括有卫生级绝缘套管、用于测量所述配液罐内液体温度的温度传感器和用于连接所述温度传感器与所述液位变送器变送单元的导线，所述温度传感器和所述导线位于所述卫生级绝缘套管内，所述测量传感器与所述液位变送器变送单元的连接处设置有用于卡在所述配液罐瓶口的卡盘。本测量计精度高，稳定度强，结构简单，安装方便，防护性能好，温度和液位可以同时测量，并可以实时查看配液罐内液体的液位高度和温度，读数清晰、直观、可靠。

【发明专利】加速度传感器

申请号：CN200710015883.3 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN101101305A 公开/公告日：1970-08-21

申请人：胡金卫发明人：刘雁冰;李春燕;汪良红;胡金卫

代理人：分类号：

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本发明涉及一种用于一般测量的敏感器件传感器，尤其是一种加速度传感器。其提供了一种结构简单、安装简便的加速度传感器。其包括金属外壳1和金属外壳1相封接的金属支架6，在金属支架6上设有引线管脚7，在金属外壳1内设有底板5，在底板5上设有垫块3，垫块3上设有条形Al₂O₃陶瓷悬臂梁4，陶瓷悬臂梁4上设有构成惠斯通电桥的厚膜电阻9，陶瓷底板5与金属支架6连接，陶瓷底板5上有银钯导带或者金导带10。采用上述结构以后，设备投资小，生产工艺简单，产品成本低，因而工作性能优良。

【发明专利】一种重力仪用高精度加速度计分辨率测试方法

申请号：CN201510789160.3 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN105334350B 公开/公告日：1970-08-23

申请人：北京自动化控制设备研究所发明人：刘东斌;唐江河;李爱萍;胡平华;苗成义;詹双豪;赵明;陈晓华;黄鹤

代理人：分类号：

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本发明属于重力仪技术领域，具体涉及一种重力仪用高精度加速度计分辨率测试方法。本发明的方法仍利用分度头进行测试，但将常规测试中加速度计输入轴在水平附近进行测试改为了在铅垂线附近进行测试，大幅降低了加速度计输入轴重力加速度分量变化对于分度头转动角度的敏感程度，从而显著降低了分度头精度对于测试结果的影响。本发明解决了现有的加速度计分辨率测试方法难以满足海空重力仪加速度计高分辨率的测试要求的技术问题，使用本发明的方法，能够在不需要提高对常规设备性能要求的情况下，将高精度加速度计分辨率的测试精度提升至优于10^－7g的量级，能够满足海空重力仪加速度计高分辨率的测试要求。

【实用新型】一种用于电容式微机械加速度计电容检测的装置

申请号：CN201720776380.7 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN206990621U 公开/公告日：1970-08-22

申请人：四川知微传感技术有限公司发明人：周骏;山永启;王志;王龙峰;雷龙海

代理人：分类号：G01P15/125

机构代理：

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本实用新型公开了一种用于电容式微机械加速度计电容检测的装置，第一质量块和第二质量块均与第三质量块连接，第三质量块对第一质量块和第二质量块进行电气隔离，检测电容C₁的动极板和检测电容C₃的动极板与第一质量块连接，检测电容C₂的动极板和检测电容C₄的动极板与第二质量块连接，检测电容C₁的定极板和检测电容C₂的定极板与外部引脚A通过引线连接，检测电容C₃的定极板和检测电容C₄的定极板与外部引脚B通过引线连接，本装置不需要外接匹配电容就可以实现微机械加速度计电容差分检测，无需外接匹配电容，匹配性更好，可以避免由于匹配电容大小的不匹配以及匹配电容的变化引起的微机械加速度计性能恶化的技术效果。

【发明专利】一种数字化倾斜仪及其测量方法

申请号：CN201110197057.1 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN102353356A 公开/公告日：1970-08-22

申请人：上海辉格科技发展有限公司发明人：张峰

代理人：分类号：G01C9/00

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本发明揭示了一种数字化倾斜仪及其测量方法，所述倾斜仪包括处理器、倾角传感器、滤波单元、电源系统、数显分度转台；倾角传感器提供高分辨率的倾斜角度，滤波单元对倾角传感器输出的模拟信号滤波，处理器对倾角传感器输出的经过滤波的模拟信号进行高精度模数转换，在处理器内作数字信号滤波，达到真实地反映出倾角输出信息；处理器对数字处理后的信号进行角度转换，利用数显分度转台对倾角传感器作线性补偿所需的数据作测试，计算出合适的线性标定系数；测量后，处理器利用计算出的线性标定系数对测量的角度数据作线性补偿。本发明能提供常温20角秒的测量精度，同时可保证-40℃～85℃的温度区间±0.03°的最大温漂，相对现有数字倾斜仪有明显优势。