基本信息

• 发明名称： 【实用新型】 一种基于零位校正的微机械MEMS加速度计
• 申请日： 1970-08-23
• 申请号/专利号： CN201920791579.6
• 专利权人： 周骏;山永启;王志;王龙峰;雷龙海
• 申请人： 四川知微传感技术有限公司
• 分类号： G01P15/125
• 发明人/设计人： 周骏;山永启;王志;王龙峰;雷龙海
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号： G01P15/125
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本实用新型公开了一种基于零位校正的微机械MEMS加速度计，包括：基片，基片上设有氧化层，若干个锚点通过氧化层固定在基片上，氧化层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：差动电容检测结构、加速度计闭环反馈电极结构、若干个悬臂梁、零位校正结构、敏感质量块、2个止挡结构、2个固定结构；通过对加速度计结构的设计可以校正结构由于加工误差、安装误差以及环境温度等变化带来的零位输出变化不一的问题，消除由于零位变化对器件稳定性、温度特性等性能造成的影响。

摘要附图：