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共4931件专利文献

【发明专利】一种压力计芯片

申请号：CN201610124330.0 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN105784214B 公开/公告日：1970-08-23

申请人：中国科学院地质与地球物理研究所;王文发明人：周显良;王文

代理人：分类号：G01L1/18

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本发明涉及传感器领域，特别涉及一种压力计芯片以及其制造工艺。一种压力计，包括腔体、以及设置在所述腔体内的压力计芯片；所述压力计芯片在所述腔体内受被检测的外界压力均匀压缩并且能够自由的产生形变。所述压力计芯片基本由单晶硅制成，包括相互连接的基板及盖板；所述盖板上形成有凹陷部，并与所述基板形成一个密封空腔，所述基板与所述盖板之间形成有氧化硅层；所述基板包括压阻测量元件，所述压阻测量元件位于所述空腔之内。本压力计芯片适合测量超高压力，受温度影响较小，可以在高温的环境中使用，而且具有检测精度高、可靠性高、制造成本低等特点。

【实用新型】差动式振弦加速度计

申请号：CN95220981.0 申请日：1970-08-20

公开/公告号：CN2257019Y 公开/公告日：1970-08-20

申请人：陕西青华机电研究所发明人：史洪保;孙书明;张西京;王云芳;田争良;金皖田;龚肇庆

代理人：分类号：

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本实用新型差动式振弦加速度计，属于传感器技术领域，主要用于直接测量运动物体或飞行物的运动加速度，也可作为速度、距离等物理量的检测和控制敏感部件。采用双振弦作为敏感元件和双线圈连续激振方式。利用振弦张力变化使其固有频率变化的原理，将加速度转换为脉冲信号输出。本实用新型差动式振弦加速度计性能稳定，工作温度范围宽，温度误差小，使用寿命长，便于与计算机检测和控制系统连接。

【实用新型】数显推拉力计

申请号：CN02262033.8 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN2586148Y 公开/公告日：1970-08-21

申请人：国营东方仪器厂发明人：叶明;牛树人;王更生;范卫武

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本实用新型数显推拉力计，它涉及一种测力仪表，是由测量头、应变机构、桥式检测电路、电子组件、开关面膜板和壳体组成。所述的应变机构是由连接轴2、连接座3、弹性体4、固定座5依次连接组成，形状为“S”形；所述的弹性体4采用的是双孔双梁设计结构；所述的A/D转换器为双积分式。本实用新型体积小、系统电路变得简单，而且测量精度高。

【发明专利】高g值加速度计

申请号：CN200510042775.6 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN1693901A 公开/公告日：1970-08-21

申请人：西安交通大学发明人：蒋庄德;赵玉龙;赵立波;高建忠

代理人：分类号：

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本发明公开了一种高g值加速度计，该加速度计由加速度敏感梁、两块电路板和SOI硅微固态压阻芯片构成；该加速度敏感梁上有对称的台阶，两块电路板对称粘接在台阶上，SOI硅微固态压阻芯片设置在加速度敏感梁的中间，硅微固态压阻芯片与两块电路板通过引线连接。本发明采用双端固定的加速度敏感梁和硅隔离SOI硅微固态压阻芯片构成硅微应变固态压阻高g值传感器，解决了穿甲、掩体侵彻、钻地武器以及航弹等引信系统的高g值加速度测量问题。同时采用共晶焊接技术，解决了传感器迟滞问题。该加速度计传感器具有量程高、动态特性好、耐侯性强以及测量精度高、高过载等特点，能够满足穿甲、掩体侵彻、钻地武器以及航弹等引信系统高g值加速度的测量需要。

【发明专利】单片双惯性参数加速度计陀螺仪

申请号：CN200510056751.6 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN100338470C 公开/公告日：1970-08-21

申请人：中北大学发明人：任勇峰;刘俊;唐军;张文栋;李锦明;熊继军;石云波;祁晓瑾

代理人：分类号：G01P15/14

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本发明涉及加速度计陀螺仪，具体为单片双惯性参数加速度计陀螺仪。本发明解决现有的加速度计陀螺仪制作工艺精度要求高、信息的后续处理程序复杂、繁琐、结构相对复杂、体积和重量相对大以及只适用于加速度和角速度方向相互垂直的状态等问题。该单片双惯性参数加速度计陀螺仪包含壳体，在壳体底板上通过弹性梁锚固有质量块，质量块两侧固定有梳齿电容，质量块由外框架和固定于外框架内的质量芯块构成，敏感梳齿固定于质量块的外框架的两侧外壁，质量块的外框架的两侧内壁固定有梳齿驱动器；在质量芯块的上、下端面和壳体顶板、底板上对应地固定有电极。其对两类惯性参量单片集成检测，可敏感同方向上的加速度和角速度值，具有较高的实用价值。

【实用新型】一种数字化加速度测量系统

申请号：CN201720820665.6 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN206920466U 公开/公告日：1970-08-22

申请人：安阳师范学院发明人：丁电宽;党天宝;张田昕;张鑫;李立新;李艾华;赵光霞;赵静

代理人：分类号：

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本实用新型公开了一种数字化加速度测量系统，包括小车、小车轨道、打点计时器和纸带，还包括下位机测量系统，下位机测量系统包括单片机，以及安装在小车上的由单片机控制的超声波装置、与单片机进行连接的液晶显示屏以及ZigBee无线通讯模块；还包括与下位机通过无线通讯进行连接的上位机，上位机包括交互式监控模块和数据管理模块。本实用新型的有益效果：通过采用控制芯片实现加速度数字化测量，代替传统计算步骤，减小传统中的测量误差；液晶实时显示加速度和距离的值，直观反映出加速度的变化情况，加深学生对加速度的理解和掌握；上位机实时显示每位学生的实验数据信息，便于老师对学生实验掌握情况的了解。

【发明专利】基于碳纳米管场致发射的梳齿结构微机械加速度计

申请号：CN200710304566.3 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN101470131A 公开/公告日：1970-08-21

申请人：清华大学发明人：叶雄英;周兆英;郭琳瑞;陈烽

代理人：分类号：G01P15/08

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一种基于碳纳米管场致发射的梳齿结构微机械加速度计，由硅质上硅片和下玻璃组成；上硅片包括：硅岛相对的两侧面上带有垂向可动梳齿型阳极；分别位于硅岛阳极端的N对固定于固定块的垂向固定梳齿型碳纳米管场致发射阴极；该阴极由硅质垂向梳齿和通过电泳沉积在该梳齿的垂向侧面上的碳纳米管层组成成，N＝1～100；阳极和阴极的垂向梳齿相互插于其间，齿间留有间隙；和分别连接于硅岛另外相对两侧面上的连接于硅质固定块上的回形梁；下玻璃片位上硅片下，之间通过在真空腔中溅射或蒸镀于下玻璃片与各固定块间的金属膜层共熔键合成悬空结构；由固定块上的金属膜层引出接线端子与外置检测电路连接。具加工简单，易推广和抗辐射、耐高低温等优点。

【发明专利】加速度测量仪和用于制造这种加速度测量仪的方法

申请号：CN201680070666.1 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN108369244B 公开/公告日：1970-08-23

申请人：基斯特勒控股公司发明人：F·罗莎

代理人：分类号：

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本发明涉及一种加速度测量仪(1)，其具有压电系统(2)、振动质量(3)和基板(4)；在加速期间，振动质量(3)将与它的加速度成比例的力施加到压电系统(2)上，所述力在所述压电系统(2)中产生压电电荷，并且所述压电电荷能够作为加速度信号被电量取，其中，振动质量(3)具有两个质量元件(30，30')；其中，正压电电荷能够在第一质量元件(30)上作为加速度信号被电量取；并且其中，负压电电荷能够在第二质量元件(30')上作为加速度信号被电量取。