基本信息
摘要：一种基于碳纳米管场致发射的梳齿结构微机械加速度计，由硅质上硅片和下玻璃组成；上硅片包括：硅岛相对的两侧面上带有垂向可动梳齿型阳极；分别位于硅岛阳极端的N对固定于固定块的垂向固定梳齿型碳纳米管场致发射阴极；该阴极由硅质垂向梳齿和通过电泳沉积在该梳齿的垂向侧面上的碳纳米管层组成成，N＝1～100；阳极和阴极的垂向梳齿相互插于其间，齿间留有间隙；和分别连接于硅岛另外相对两侧面上的连接于硅质固定块上的回形梁；下玻璃片位上硅片下，之间通过在真空腔中溅射或蒸镀于下玻璃片与各固定块间的金属膜层共熔键合成悬空结构；由固定块上的金属膜层引出接线端子与外置检测电路连接。具加工简单，易推广和抗辐射、耐高低温等优点。
摘要附图：
