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共4931件专利文献

【发明专利】用于集成压力、温度和气体传感器的单片微电子机械系统平台

申请号：CN201510446511.0 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN105967138A 公开/公告日：1970-08-22

申请人：台湾积体电路制造股份有限公司发明人：张华伦;戴文川;洪嘉明;游绍祺;陈相甫;黄信锭

代理人：分类号：B81C1/00

机构代理：

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本发明实施例涉及一种单片MEMS(微电子机械系统)平台和相关的形成方法，单片MEMS平台包括温度传感器、压力传感器和气体传感器。在一些实施例中，MEMS平台包括：具有一个或多个晶体管器件和温度传感器的半导体衬底。介电层设置在半导体衬底上方。腔设置在介电层的上表面内。MEMS衬底布置在介电层的上表面上并且具有第一部分和第二部分。压力传感器具有通过腔与第二压力传感器电极垂直地分离的第一压力传感器电极，第二压力传感器电极位于MEMS衬底的第一部分内。气体传感器包括设置在第一气体传感器电极和第二气体传感器电极之间的聚合物，第一气体传感器电极位于MEMS衬底的第二部分内。本发明实施例涉及用于集成压力、温度和气体传感器的单片微电子机械系统平台。

【实用新型】倾斜度及加速度侦测装置

申请号：CN99244730.5 申请日：1970-08-20

公开/公告号：CN2392167Y 公开/公告日：1970-08-20

申请人：郑秋豪发明人：郑秋豪

代理人：分类号：

机构代理：

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本实用新型提供一种倾斜度及加速度侦测装置,操作时因内部元件位移动作而产生的电子讯号的变化来侦测该装置的水平度或倾斜度或移动程度或加速度的变化量。

【发明专利】微机械加速度传感器加工方法

申请号：CN201611043136.6 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN106556719A 公开/公告日：1970-08-22

申请人：陕西启源科技发展有限责任公司发明人：张淑芬

代理人：分类号：G01P15/125

机构代理：

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本发明微机械加速度传感器加工方法涉及传感器领域，具体涉及微机械加速度传感器加工方法，包括以下步骤：选取厚度为150um单晶硅片进行热氧化，得到1.5‑2um的二氧化硅保护层，硅片一面涂光刻胶进行保护，另一面涂光刻胶进行光刻，得到微机械加速度传感器的悬浮运动区域和结构悬起固定支撑区域；清除硅片表面的SiO₂，采用浓硼扩散工艺对硅片进行掺杂，使结构能与电极形成良好的欧姆接触，提高传感器性能，淀积温度约750℃，驱入温度约为l 250℃；制备玻璃片，溅射金属电极层，采用派莱克司7740号玻璃，在玻璃片正面溅射一层铝，厚度1um；本发明操作简单，加工方便，能保证加工质量，延长其使用寿命，保证传感器的检测精度和灵敏度，提高生产效率，降低生产成本。

【发明专利】一种液体涡轮流量计及其流量计量方法

申请号：CN200910151435.5 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN101629837A 公开/公告日：1970-08-21

申请人：中国人民解放军总后勤部油料研究所;天津新科成套仪表有限公司发明人：傅苏红;张卫华;张津林;曹广军;李明杰;李继峰;陈刚

代理人：分类号：

机构代理：

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一种液体涡轮流量计及其流量计量方法，液体涡轮流量计包括：流量计本体，具有液体入口、出口及检出接口；从液体入口依次设置在流量计本体内的整流器、涡轮流量计，涡轮流量计包括涡轮、传感器；设置在检出器接口外并连接传感器的流量积算仪及连接流量积算仪的显示装置、供电部。本发明提供的流量计量方法是将旋转叶轮产生的脉冲信号进入流量积算仪处理经放大、A/D转换、计数，得出一初级流量信号；温度传感器测量的温度信号经放大、A/D转换，选用不同的温度补偿模型对初级流量信号修正，得出二级流量信号；利用多段非线性修正方法进行二次修正，得出最终的流量信号。本发明整流器与流量计本体集成一体结构体积小并通过温度补偿保证了计量的准确性。

【实用新型】电杆倾斜度测量工具

申请号：CN201921714352.8 申请日：1970-08-23

公开/公告号：CN210513117U 公开/公告日：1970-08-23

申请人：国家电网有限公司;国网北京市电力公司发明人：吴钢;王远;郭靖雯;陈沐乐

代理人：分类号：

机构代理：

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本实用新型公开电杆倾斜度测量工具，包括铝合金板；铝合金板呈矩形状；铝合金板的中心线上从上至下依次设置有圆形挂钩孔、上扇形孔、镂空十字孔和下扇形孔。本实用新型一种电杆倾斜度测量工具运用到现场施工时，可快速判断电杆的倾斜程度，测量的过程且不受地理环境和空间的制约，高效快捷地完成水泥电杆倾斜度的测量，大幅节约施工人数，降低劳动强度，减少工作时间和安全隐患。整体装置在做到了轻便易携带的同时，又满足了高强度的需求，且结构设计合理有效，操作简单可靠，工作动力环保高效。

【发明专利】一种基于倾斜摄影的液位控制系统及液位测量方法

申请号：CN201510357368.8 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN104907515B 公开/公告日：1970-08-22

申请人：烟台万隆真空冶金股份有限公司发明人：史戈平;唐明明;姚志强;张倩倩;张宗宁;王肇飞

代理人：分类号：B22D11/18

机构代理：

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本发明涉及一种基于倾斜摄影的液位控制系统及液位测量方法，包括喷嘴包，所述喷嘴包上部设有喷嘴包盖，所述喷嘴包盖上设有玻璃观察窗，所述玻璃观察窗上设有刻度线，所述喷嘴包内的液位高度与所述喷嘴包的内壁形成液位交线，所述刻度线平行于所述液位交线，所述喷嘴包的上方倾斜设有CCD摄像机，所述CCD摄像机的光轴可穿过所述玻璃观察窗拍摄到所述喷嘴包内的液位交线，所述液位交线、刻度线及所述CCD摄像机的镜头焦点共面，所述CCD摄像机通过数据传输线路连接有PC机，所述玻璃观察窗为椭圆形。本发明测量精度高，测量速度快，结构简单，易拆装，成本低，非晶薄带表面光亮，“鱼鳞纹”不明显，提高了非晶薄带品质。

【实用新型】钻井头的温度压力加速度测量装置

申请号：CN201120030903.6 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN202041322U 公开/公告日：1970-08-22

申请人：陕西科技大学发明人：吴春英;王卫林;王晓霞

代理人：分类号：G01L1/24

机构代理：

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本实用新型为钻井头的温度压力加速度测量装置，在钻井头上设置第三FBG传感器，与钻井头垂直连接的水平悬臂梁上表面上设置第一FBG传感器，下表面设置第FBG二传感器，第一FBG传感器的反射信号与第一个1*2耦合器输入端相连，第二FBG传感器的反射信号与第二个1*2耦合器输入端相连，第三FBG传感器的反射信号与第三个1*2耦合器输入端相连，各个1*2耦合器的输出信号经准直镜反射后经过闪耀光栅照射到聚焦透镜上，CMOS图像传感器从聚焦透镜获取图像光斑，本实用新型能同时测量出钻井头的温度、压力和加速度并消除信号间的相互干扰，测量结果准确，使用过程方便。

【实用新型】一种土壤紧实度测定仪

申请号：CN201621165117.6 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN206132501U 公开/公告日：1970-08-22

申请人：王春丽发明人：王春丽

代理人：分类号：

机构代理：

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本实用新型公开了一种土壤紧实度测定仪，包括采样器和箱体，所述采样器的输入端通过通信线连接土壤紧实度传感器，所述土壤紧实度传感器的上端设有第一把手，所述箱体的两侧均设有第二把手，所述第二把手的内侧表面设有控制开关，所述箱体的内部设有电机，所述电机通过电路连接控制开关，所述电机的转轴固定连接卡块，所述卡块的下表面设有第一凹槽，所述第一凹槽的内部卡接第一把手，所述箱体的上表面设有第二凹槽，所述第二凹槽的内部底端设有缓冲装置，所述卡块的下表面轴连接卡板，所述卡板的下端侧面设有第一螺栓，所述第一螺栓通过螺纹连接卡块。该土壤紧实度测定仪减少操作人员的分配，提高测量的效率，延长采样器的使用寿命。