基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 微机械加速度传感器加工方法
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201611043136.6
• 专利权人： 张淑芬
• 申请人： 陕西启源科技发展有限责任公司
• 分类号： G01P15/125
• 发明人/设计人： 张淑芬
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G01P15/125
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明微机械加速度传感器加工方法涉及传感器领域，具体涉及微机械加速度传感器加工方法，包括以下步骤：选取厚度为150um单晶硅片进行热氧化，得到1.5‑2um的二氧化硅保护层，硅片一面涂光刻胶进行保护，另一面涂光刻胶进行光刻，得到微机械加速度传感器的悬浮运动区域和结构悬起固定支撑区域；清除硅片表面的SiO₂，采用浓硼扩散工艺对硅片进行掺杂，使结构能与电极形成良好的欧姆接触，提高传感器性能，淀积温度约750℃，驱入温度约为l 250℃；制备玻璃片，溅射金属电极层，采用派莱克司7740号玻璃，在玻璃片正面溅射一层铝，厚度1um；本发明操作简单，加工方便，能保证加工质量，延长其使用寿命，保证传感器的检测精度和灵敏度，提高生产效率，降低生产成本。

摘要附图：