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共4931件专利文献

【实用新型】一种量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器

申请号：CN02266744.X 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN2570793Y 公开/公告日：1970-08-21

申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所发明人：王钻开;陆德仁;黄全平

代理人：分类号：

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本实用新型涉及一种量程可达200万m/s²以上的微机械加速度传感器。其特征在于由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上、下玻璃盖板构成；由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片封装在框架中，并且上、下玻璃盖板键合在一起；敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块；3个敏感薄板的长度相等，其宽度与质量块的宽度相同；压敏电阻设计成单一直线条状，其中外侧的两条安置于敏感薄板梁与锚区交界处，另外两条设置在中央薄板的中间。所提供的传感器的固有频率可达700KHz以上，且不使灵敏度下降，避开了常规设计中两者不可协调的矛盾。

【实用新型】全方位倾斜加速度传感器

申请号：CN91211208.5 申请日：1970-08-19

公开/公告号：CN2099954U 公开/公告日：1970-08-19

申请人：陈金本发明人：陈金本

代理人：分类号：

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全方位倾斜加速度传感器属于机械位移传感器。它有二根摆杆，一根左端有支承右端悬浮，另一根反之。二根摆杆的悬浮部分由连杆联接，且它们形成的合成重力矩由装在其中一根摆杆支承端的扭簧扭力来平衡。在一根摆杆上有动触点，动触点上方装有静触点。本传感器，由于扭簧的扭力与重力无关，因此任何能改变二根摆杆和连杆合成重力矩变化的物理量都破坏力的平衡关系，使传感器工作，故本传感器灵敏度高，监测面广，且结构简单，成本低。

【实用新型】一种固定式智能测斜仪及系统

申请号：CN201821302352.2 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN208505293U 公开/公告日：1970-08-23

申请人：河北工业大学发明人：孙子正;张一鸣;董威;闫晓;马国伟

代理人：分类号：G01C9/02

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本实用新型为一种固定式智能测斜仪及系统，该测斜仪包括圆柱形腔体，在圆柱形腔体内的上、中、下位置均布置有一个微机电倾角传感器，位于中部的微机电倾角传感器附近设有有源射频识别数据传输模块、电源模块和微控制单元模块，有源射频识别数据传输模块、电源模块和微控制单元模块集成在一个IC电路板上，三个微机电倾角传感器均与微控制单元模块连接，位于上、下位置的两个微机电倾角传感器均通过中轴线线缆连接微控制单元模块，电源模块为整个测斜仪供电；所述微控制单元模块通过有源射频识别数据传输模块与外部的数据采集端连接。该测斜仪简化监测系统的布设，增强了其易用性，提高地下空间工程结构倾斜及水平位移状态变化监测的精度。

【发明专利】基于QoS工艺的Z向敏感石英振梁加速度计芯片及加工工艺和加速度计

申请号：CN201811626393.1 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN109765404A 公开/公告日：1970-08-23

申请人：西安交通大学发明人：张全伟;李村;李波;白冰;赵玉龙;韩超

代理人：分类号：

机构代理：

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本发明提供基于QoS工艺的Z向敏感石英振梁加速度计芯片及加工工艺和加速度计，芯片包括键合在硅基结构两侧的第一、第二石英结构，石英结构包括石英框架、双端固定石英音叉、石英支撑梁和石英质量块，硅基结构包括硅基框架和硅质量块；在石英框架和硅基框架处，以及石英质量块和硅质量块处完全键合，形成第一石英结构、硅基结构、第二石英结构的三明治形式；加工工艺是先进行硅基初加工，再进行硅基和两个石英片双面键合，两个石英片减薄和抛光，然后进行石英振梁电极及石英结构的制作，最后进行硅基结构的释放。本发明具有灵敏度高、成本低等特点。

【发明专利】一种加速度计及其制造工艺

申请号：CN201210356542.3 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN103675345A 公开/公告日：1970-08-22

申请人：中国科学院地质与地球物理研究所发明人：于连忠;俞度立;杨长春

代理人：分类号：G01P15/125

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一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块；所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置；每组所述弹性折叠梁之间通过一连接臂相互连接。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本发明的加速度计结构具有极大的模态隔离比值，进一步降低了MEMS芯片的噪声。为此，本加速度计具有检测精确度高、稳定性强、噪声低等优点。

【发明专利】一种吸收速度测定仪及吸收速度测定控制终端

申请号：CN201710828030.5 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN107525745A 公开/公告日：1970-08-22

申请人：中国制浆造纸研究院发明人：史记;张岩;张清文;张越

代理人：分类号：

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本发明提供了一种吸收速度测定仪及吸收速度测定控制终端，涉及卫生用品领域，以提高卫生用品吸收速度的测量准确性。所述吸收速度测定仪包括箱体以及用于测量卫生用品吸收测试液时间的计时单元，所述箱体的顶部分别设有加液单元和底座；所述底座具有放置卫生用品的弧形面，所述弧形面位于所述加液单元的放液口下方。所述吸收速度测定控制终端应用于上述提到的吸收速度测定仪，该终端包括信息输入单元、控制单元、监控单元和处理单元对测试过程进行自动控制。本发明提供的吸收速度测定仪及吸收速度测定控制终端用于测定卫生用品的吸收速度。

【发明专利】石英挠性加速度计测量组件的参数辨识标定方法

申请号：CN200810064715.8 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN101290326A 公开/公告日：1970-08-21

申请人：哈尔滨工程大学发明人：于强;吴磊;周广涛;奔粤阳;徐博;王罡;程建华;陈世同;高伟;高洪涛

代理人：分类号：G01C25/00

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本发明提供的是一种石英挠性加速度计测量组件的参数辨识标定方法。本发明的技术方案通过控制三轴位置速率转台到不同的位置来激励出石英挠性加速度计测量组件的静态误差，通过控制三轴位置速率转台以不同的速率转动激励出石英挠性加速度计测量组件的动态误差，并应用Kalman滤波器辨识出石英挠性加速度计测量组件的误差模型参数，最后利用所辨识的参数确定石英挠性加速度计测量组件的误差模型。本发明提供的技术方案对于提高石英挠性加速度计测量组件的标定精度，从而提高装配有石英挠性加速度计测量组件的捷联惯性导航系统的精度有着积极意义。

【发明专利】石英挠性加速度计测量组件的参数辨识标定方法

申请号：CN200810064715.8 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN101290326B 公开/公告日：1970-08-21

申请人：哈尔滨工程大学发明人：于强;吴磊;周广涛;奔粤阳;徐博;王罡;程建华;陈世同;高伟;高洪涛

代理人：分类号：G01C25/00

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