基本信息

• 发明名称： 【实用新型】 一种量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器
• 申请日： 1970-08-21
• 申请号/专利号： CN02266744.X
• 专利权人： 王钻开;陆德仁;黄全平
• 申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
• 分类号：
• 发明人/设计人： 王钻开;陆德仁;黄全平
• 公开日/公告日： 1970.08.21
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本实用新型涉及一种量程可达200万m/s²以上的微机械加速度传感器。其特征在于由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上、下玻璃盖板构成；由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片封装在框架中，并且上、下玻璃盖板键合在一起；敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块；3个敏感薄板的长度相等，其宽度与质量块的宽度相同；压敏电阻设计成单一直线条状，其中外侧的两条安置于敏感薄板梁与锚区交界处，另外两条设置在中央薄板的中间。所提供的传感器的固有频率可达700KHz以上，且不使灵敏度下降，避开了常规设计中两者不可协调的矛盾。

摘要附图：