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共4931件专利文献

【实用新型】直接加热终端式微电子机械系统微波功率传感器

申请号：CN200420079786.2 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN2725900Y 公开/公告日：1970-08-21

申请人：东南大学发明人：廖小平;陈宁娟

代理人：分类号：G01R21/04

机构代理：

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直接加热终端式微电子机械系统微波功率传感器是利用终端负载的形式实现功率吸收并转化为热量，以测量温度的方式测得输入功率的结构，该结构利用热电偶充当终端负载，将由共面波导上输入的能量转化为热量，再转化为电压的方式测得微波功率的大小，在结构上该传感器包括衬底，共面波导地线，共面波导信号线，金热电偶臂，AlGaAs热电偶臂，焊盘，欧姆接触，介质；制造步骤为：准备GaAs衬底，淀积AlGaAs，离子注入进行掺杂，光刻AlGaAs并刻蚀出热电偶臂，淀积AUGE共晶体，Ni和Au，光刻、高温热退火形成欧姆接触，淀积SiON介质层，淀积金属并光刻出共面波导和部分热电偶臂，淀积介质层，制作焊盘。

【实用新型】一种重力加速度测量仪

申请号：CN200520052100.5 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN200986596Y 公开/公告日：1970-08-21

申请人：湖南工业大学发明人：夏湘芳;杜方炳;杨红梅

代理人：分类号：

机构代理：

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本实用新型涉及一种重力加速度测量仪，用于物理实验中重力加速度的测量，含底座、支撑架、夹物装置、条形重物块、光电门支架、光电门、接物斗、条形重物块释放旋钮、水平调节螺丝钉、水平仪、数字毫秒计、定滑轮、弹簧固定架、弹簧、条形重物块挂栓、绳子、条形重物块挂孔和条形重物块中间窗口，条形重物块安装在夹物装置的挂栓上，条形重物块的自由下落由释放旋钮来控制，重力加速度由条形重物块自由下落的距离和时间来测量，条形重物块自由下落通过光电门的测量距离由条形重物块挂孔下边距条形重物块下端的长度和条形重物块中间窗口下边距条形重物块下端的长度决定，条形重物块自由下落通过光电门的测量时间由数字毫秒计读出。该测量仪结构合理、操作方便，重复性好，测量误差小。

【实用新型】一种推拉力计的检测装置

申请号：CN201921167354.X 申请日：1970-08-23

公开/公告号：CN210037072U 公开/公告日：1970-08-23

申请人：舟山捷祥检测技术有限公司发明人：严存伟;郑国祥;郑文宇

代理人：分类号：

机构代理：

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一种推拉力计的检测装置，包括上平台、下平台，所述上平台与所述下平台安装在螺旋丝杆上并配备调节螺母，所述上平台的上表面中部固定安装液压千斤顶，所述液压千斤顶上固定有上升降台，下升降台位于所述上平台下方并通过连杆与所述上升降台固定连接，所述下平台上表面固定一套筒，拉力架置于所述套筒内并配有标准测力仪；通过拉力架的作用将标准测力仪的压力值转换为压力值，标准测力仪为受压式的测力仪，可测量的力在30t内，装置相应地可测最大拉力值为30t，本装置更适用于大量程推拉力计的检测。

【发明专利】带温度补偿的MEMS加速度计

申请号：CN201310585144.3 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN103558415B 公开/公告日：1970-08-22

申请人：中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心发明人：张斌;王晓臣;王甫;鞠莉娜;高玉霞

代理人：分类号：G01P15/00

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本发明涉及一种带温度补偿的MEMS加速度计，包括加速度传感器、温度传感器、温度补偿芯片，加速度传感器和温度传感器与温度补偿芯片的相连接。温度补偿芯片采用的温度补偿方法为：（1）在多个温度点下测量零偏和标度因子的一组输出值并拟合为拟合曲面而获得一系列拟合系数并排列成系数矩阵；（2）将加速度传感器的输出信号和温度传感器的输出信号建模并表达为模型矩阵；（3）将系数矩阵和模型矩阵做点乘得到加速度传感器在温度补偿后的输出公式；（4）将拟合系数和输出公式写入温度补偿芯片进行计算。本发明通过曲面三维拟和以及计算之后进行补偿，有效减少了加速度计在组装和安装过程中产生的误差对系统的影响。

【实用新型】一种建筑工程专用倾斜度测量装置

申请号：CN202020542686.8 申请日：1970-08-23

公开/公告号：CN212109982U 公开/公告日：1970-08-23

申请人：李长青发明人：李长青

代理人：分类号：G01C9/02

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本实用新型公开了一种建筑工程专用倾斜度测量装置，包括立柱、限位机构和定位横梁，立柱的外壁中段位置通过转盘横向转动设有转动杆，转动杆的尖端固定焊接有U型架，U型架的内腔前后侧壁之间转动设有内腔为中空结构的吊柱，吊柱的外壁顶部设有倒立T型梯台，定位横梁的左端固定设有插接套筒，且通过插接套筒固定套接在吊柱的倒立T型梯台外壁，定位横梁的顶端面右侧铰接有铰接板，定位横梁的顶端面右侧前端垂直设有角度刻度盘，铰接板靠近铰接位置的一端前侧与角度刻度盘的后端面转动贴合，限位机构包括有抽拉杆、提拉杆和铁质盘。本实用新型为一种建筑工程专用倾斜度测量装置，便于对施工过程中的倾斜度进行快速检测，测量精度高，简单实用。

【实用新型】一种重力加速度测量仪

申请号：CN201621017031.9 申请日：1970-08-22

公开/公告号：CN206020691U 公开/公告日：1970-08-22

申请人：谢一豪发明人：谢一豪

代理人：分类号：

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本实用新型公开了一种重力加速度测量仪，包括测量台，所述测量台中部固定设有工作罩，所述工作台一侧设置有控制器，所述控制器一侧设置有气泵，所述工作台上设置有气动导轨，所述气动导轨上设置有两个支撑柱，两个所述支撑柱上设置有支撑板，所述支撑板上设置有多个打孔纸，多个所述打孔纸并排设置在所述支撑板上，所述打孔纸上设置有滑块，所述滑块通过牵引绳连接有砝码，所述工作罩内设置有多个高压打孔杆，多个所述高压打孔杆并排设置在所述工作罩内顶部。本实用新型提供的重力加速度测量仪，能够实现多次测量同时进行，测量效率高，且测量过程中，实现精确对准、打孔，测量准确性高。

【发明专利】可同时量测加速度及压力的微机电传感器

申请号：CN201010289314.X 申请日：1970-08-21

公开/公告号：CN102408089A 公开/公告日：1970-08-22

申请人：冈田和广;利顺精密科技股份有限公司发明人：冈田和广;吴名清;白金泉;黄志恭

代理人：分类号：G01L9/02

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本发明公开了一种可同时量测加速度及压力的微机电传感器，包含有一框架、一质量块以及多个连接于该框架与该质量块之间的弹性支撑臂，使该质量块可悬置于该框架中，此外，该质量块具有一压力感测薄膜以及位于该薄膜下方的封闭腔室。通过此，该质量块除了本身可作为量测加速度用的可动感测元件之外，通过设于该质量块中的腔室以及该压力感测薄膜，可提供压力量测的功能。

【实用新型】微机械梳状电容式加速度传感器

申请号：CN00217895.8 申请日：1970-08-20

公开/公告号：CN2424450Y 公开/公告日：1970-08-20

申请人：中国科学院上海冶金研究所发明人：熊幸果;王渭源;陆德仁

代理人：分类号：G01P15/125

机构代理：

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本实用新型提出了一种以玻璃为衬底的单晶硅体微机械加工梳状电容式加速度传感器。本实用新型采用硅-玻璃键合结构,利用单晶硅深反应离子刻蚀(DRIE)技术进行叉指成型刻蚀,可增加器件厚度至上百微米,大幅度增加器件静态电容,便于信号检测。传感器设计可在实现可动结构悬空的同时有效保证固定叉指的锚定,并避免差分电容极板静电力对中间质量块形成扭矩。传感器采用折叠梁结构,较之直梁结构可获得较高的灵敏度。