基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 可同时量测加速度及压力的微机电传感器
• 申请日： 1970-08-21
• 申请号/专利号： CN201010289314.X
• 专利权人： 冈田和广;吴名清;白金泉;黄志恭
• 申请人： 冈田和广;利顺精密科技股份有限公司
• 分类号： G01L9/02
• 发明人/设计人： 冈田和广;吴名清;白金泉;黄志恭
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G01L9/02
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明公开了一种可同时量测加速度及压力的微机电传感器，包含有一框架、一质量块以及多个连接于该框架与该质量块之间的弹性支撑臂，使该质量块可悬置于该框架中，此外，该质量块具有一压力感测薄膜以及位于该薄膜下方的封闭腔室。通过此，该质量块除了本身可作为量测加速度用的可动感测元件之外，通过设于该质量块中的腔室以及该压力感测薄膜，可提供压力量测的功能。

摘要附图：