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4931件专利文献

【发明专利】 微加速度计及其制备方法

申请号:CN200910090736.1 申请日:1970-08-21
公开/公告号:CN101634662A 公开/公告日:1970-08-21
申请人:北京大学 发明人:张杨飞;张静;缪旻;金玉丰
代理人: 分类号:B81C1/00
机构代理:
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本发明公开了一种微加速度计及其制备方法,属于微惯性器件的加工技术领域。该微加速度计设置在封装基板上,封装基板由上、下表面板和若干个中间基板堆叠而成,加速度计的信号检测电路附着在上表面板上,加速度计的敏感元件内嵌于中间基板,即带有空腔的中间基板构成敏感元件的框架,敏感元件的挠性悬挂和敏感质量块设置在空腔内,挠性悬挂的一端连接敏感质量块,另一端固定在框架上,且在敏感质量块和与敏感质量块对应的框架表面上分别溅射金属电极,形成平板式敏感电容,或在挠性悬挂与框架内侧面连接处的位置淀积金属压阻厚膜图形,构成金属压阻应变计。本发明制备的微加速度计敏感度高,且可以耐高温,与系统级封装基板融合为一体,其加工难度和成本低。

【发明专利】 一种陀螺加速度计浮子对中监测系统

申请号:CN201410119912.0 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN103913597B 公开/公告日:1970-08-22
申请人:北京航天控制仪器研究所 发明人:严小军;孙鹏飞;李庆溥;梁燕;章丽蕾;赵晓萍
代理人: 分类号:G01P21/00
机构代理:
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本发明涉及一种陀螺加速度计浮子对中监测系统,该监测系统包括磁悬浮测量电桥桥臂电阻调试用电路、直流电源及功率电源、温控电路和温控电路电源,温控电路用来控制外部加速度计内部浮液的温度在设定的范围内,磁悬浮测量电桥桥臂电阻调试用电路包括N个位置测量及功率控制电路、多路选通器,相敏解调电路和控制器等,其中每个位置测量及功率控制电路包括位置测量电桥、电平转换电路,功率三极管和电荷泄放电路,外部交流电压信号分别输入位置测量电桥的两路,电桥两路的交流电压信号随外部电感的变化而变化;该监测系统可以提高测试效率及自动化水平,减少人工计数与计算带来的出错情况,节约时间和人力成本,且显著提高电感测量的精度。

【发明专利】 单质量平板三轴微机械加速度计

申请号:CN200410026336.1 申请日:1970-08-21
公开/公告号:CN1598597A 公开/公告日:1970-08-21
申请人:西北工业大学 发明人:常洪龙;苑伟政
代理人: 分类号:
机构代理:
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本发明公开了一种单质量平板三轴微机械加速度计,质量平板由四组内梁和四组外梁支撑于基底上,质量平板向四个方向伸出的四组梳齿,分别与固定在基底上的四个电极的梳齿交叉构成了四对梳齿电容器——电容器C40a、电容器C40b、电容器C42a和电容器C42b,电容器C42a和电容器C42b等效为沿X方向的电容器Cx,电容器C40a和电容器C40b等效为沿Y方向的电容器Cy,其特征在于:还包括位于质量平板下面的一个下极板,质量平板与下极板构成平行板电容器Cz,电容器Cz与电容器Cx、电容器Cy一起构成三轴加速度计。质量平板的四组梳齿与固定在基底上的四对梳齿以及下极板,通过微细加工在一个芯片上。优点是一个质量平板同时敏感X、Y、Z三个方向线加速度,体积小,重量轻。

【发明专利】 单质量平板三轴微机械加速度计

申请号:CN200410026336.1 申请日:1970-08-21
公开/公告号:CN1332205C 公开/公告日:1970-08-21
申请人:西北工业大学 发明人:常洪龙;苑伟政
代理人: 分类号:
机构代理:
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本发明公开了一种单质量平板三轴微机械加速度计,质量平板由四组内梁和四组外梁支撑于基底上,质量平板向四个方向伸出的四组梳齿,分别与固定在基底上的四个电极的梳齿交叉构成了四对梳齿电容器——电容器C40a、电容器C40b、电容器C42a和电容器C42b,电容器C42a和电容器C42b等效为沿X方向的电容器Cx,电容器C40a和电容器C40b等效为沿Y方向的电容器Cy,其特征在于:还包括位于质量平板下面的一个下极板,质量平板与下极板构成平行板电容器Cz,电容器Cz与电容器Cx、电容器Cy一起构成三轴加速度计。质量平板的四组梳齿与固定在基底上的四对梳齿以及下极板,通过微细加工在一个芯片上。优点是一个质量平板同时敏感X、Y、Z三个方向线加速度,体积小,重量轻。

【实用新型】 电容式土壤湿度测定仪(1)

申请号:CN99232564.1 申请日:1970-08-20
公开/公告号:CN2396397Y 公开/公告日:1970-08-20
申请人:中国科学院水利部成都山地灾害与环境研究所 发明人:蒋明富
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电容式土壤湿度测定仪,属于利用电容测量原理设计与制造土壤湿度测定仪的技术领域。其特征是测量探头顶端的金属极锥(1)连接绝缘支撑管(3),绝缘支撑管(3)与电极柱管(4)的连接处置有表面绝缘的金属极环(2),极锥(1)和极环(2)的电极引线(7)经绝缘支撑管(3)和电极柱管(4)的内腔引出探头与测量主机电路连接。仪器测量的起始电容小、响应快,能对不同深度的土壤实施原态-原位测定。

【实用新型】 一种基于多普勒原理的电容式液位测量计

申请号:CN201720889161.X 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN207180824U 公开/公告日:1970-08-22
申请人:河南菲普斯特仪器仪表有限公司 发明人:刘斌;刘赟贝贝;曹彩丽
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本实用新型提供一种基于多普勒原理的电容式液位测量计,包括整个装置的核心部件CPU电路,发射与检测多普勒脉冲信号的多普勒脉冲信号模块,用于调整供电电源电压的电源处理模块,用于输出测量信号的信号输出模块,用于感应液体高度的被测可变电容器;所述多普勒脉冲信号模块包括发射多普勒脉冲发射电路,测量多普勒脉冲信号的多普勒脉冲测量电路。本实用新型采用目前最先进的多普勒脉冲测量原理,采用频域过滤的方法选出目标的多普勒频率谱线,滤除干扰杂波的谱线,使检测方从强杂波中分离和检测出目标信号,这样大大降低了障碍物的干扰,使本实用新型具有更高的测量精度。

【发明专利】 距离/速度计和距离/速度测量方法

申请号:CN200810096322.5 申请日:1970-08-21
公开/公告号:CN101281031B 公开/公告日:1970-08-22
申请人:株式会社山武 发明人:上野达也
代理人: 分类号:G01P3/36
机构代理:
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本发明距离/速度计,包括:第1、第2半导体激光器,向测定对象照射平行的激光;第1激光器驱动器,驱动第1半导体激光器使得至少振荡波长连续地单调增加的振荡期间反复地存在;第2激光器驱动器,驱动第2半导体激光器使得振荡波长的增减与第1半导体激光器相反;第1、第2光接收器,至少将第1、第2半导体激光器的光输出变换为电信号;计数机构,对因第1激光和该激光的来自测定对象的返回光所产生的干涉波形的数量,与因第2激光和该激光的来自测定对象的返回光所产生的干涉波形的数量分别计数;以及运算机构,根据第1和第2半导体激光器的最小振荡波长和最大振荡波长与计数机构的计数结果,计算距测定对象的距离和测定对象的速度。

【发明专利】 距离/速度计和距离/速度测量方法

申请号:CN200810108256.9 申请日:1970-08-21
公开/公告号:CN101319892B 公开/公告日:1970-08-22
申请人:株式会社山武 发明人:上野达也
代理人: 分类号:G01P3/36
机构代理:
显示摘要
本发明提供的距离/速度计包括:第1、第2半导体激光器,向测定对象照射平行的激光;第1激光器驱动器,驱动第1半导体激光器以使至少振荡波长连续单调增加的振荡期间反复存在;第2激光器驱动器,驱动第2半导体激光器以使振荡波长的增减与第1半导体激光器相反;第1、第2光接收器,至少将第1、第2半导体激光器的光输出变换为电信号;计数机构,对第1光接收器的输出信号中包含的由第1激光和该激光的来自测定对象的返回光所产生的干涉波形的数量、第2光接收器的输出信号中包含的由第2激光和该激光的来自测定对象的返回光所产生的干涉波形的数量分别计数;以及运算机构,计算距测定对象的距离和测定对象的速度。