基本信息
摘要：本发明公开了一种单质量平板三轴微机械加速度计，质量平板由四组内梁和四组外梁支撑于基底上，质量平板向四个方向伸出的四组梳齿，分别与固定在基底上的四个电极的梳齿交叉构成了四对梳齿电容器——电容器C40a、电容器C40b、电容器C42a和电容器C42b，电容器C42a和电容器C42b等效为沿X方向的电容器Cx，电容器C40a和电容器C40b等效为沿Y方向的电容器Cy，其特征在于：还包括位于质量平板下面的一个下极板，质量平板与下极板构成平行板电容器Cz，电容器Cz与电容器Cx、电容器Cy一起构成三轴加速度计。质量平板的四组梳齿与固定在基底上的四对梳齿以及下极板，通过微细加工在一个芯片上。优点是一个质量平板同时敏感X、Y、Z三个方向线加速度，体积小，重量轻。
摘要附图：
