发明名称：【发明专利】 Empirical correction for spectroscopic ellipsometric measurements of rough or textured surfaces
申请日：1970-08-21
申请号/专利号：US80495810
专利权人：HERZINGER CRAIG M;HOFMANN TINO;JOHS BLAINE D;SCHUBERT MATHIAS M
申请人：HERZINGER CRAIG M;HOFMANN TINO;J A WOOLLAM CO INC;JOHS BLAINE D;NEBRASKA UNIVERSITY BOARD OF;SCHUBERT MATHIAS M
分类号：
发明人/设计人：HERZINGER CRAIG M;HOFMANN TINO;JOHS BLAINE D;SCHUBERT MATHIAS M
公开日/公告日：1970.08.22
优先权号：
代理机构：
代理人：
PCT申请号：无
PCT申请日期：无
PCT进入国家阶段日：无
生物宝藏信息：无
审查员：无
摘要：A method of applying spectroscopic ellipsometry to arrive at accurate values of optical and physical properties for thin films on samples having rough or textured surfaces.
