基本信息
摘要：A sensor (10) preferably capable of high resolution sensing over a large operating range includes a composite diaphragm (12) containing nanotubes or nanowires (14). The nanotubes or nanowires (14) preferably form a mat that is embedded in insulating material (16, 18), such as high dielectric or insulating thin films. The nanotubes or nanowires (14) may provide the diaphragm (10) with a Young's modulus of greater than about 1000 GPa and a tensile strength of greater than about 100 GPa. The strain in the nanotubes or nanowires (14) may be measured by a change in resistance, voltage, current or capacitance. Selon l'invention, un détecteur (10) permettant de préférence une détection haute résolution sur une plage de fonctionnement importante comprend un diaphragme composite (12) contenant des nanotubes ou des nanofils (14). Ceux-ci (14) forment de préférence un tapis incorporé dans un matériau d'isolation (16, 18), tel que des films minces d'isolation ou à diélectrique élevé. Les nanotubes ou les nanofils (14) peuvent apporter au diaphragme (10) un module de Young supérieur à environ 1000 GPa et une résistance à la traction supérieure à environ 100 GPa. La contrainte dans les nanotubes ou les nanofils (14) peut être mesurée par un changement de résistance, tension, courant ou capacité.
摘要附图：
