基本信息
摘要：Equipment for measuring distribution of void or particle size capable of measuring the size of a void or a particle in a short time with high accuracy. When the size of a void Y existing in a porous insulator film (3) or the size of a particle in a thin film is measured, a sample (5) having the insulator film (3) formed on the surface of a substrate (4) is irradiated, from the surface side thereof, with X-rays R at a specified incident angle thetai larger than the total reflection critical angle of the insulator film (3) but not exceeding 1.3 times the total reflection critical angle of the substrate (4). X-rays beamed into the insulator film (3) and reflected off the surface of the substrate (4) and not entering the void Y but exiting the insulator film (3) are a scattering component and such a scattering component as having a larger exit angle as compared with that when the reflecting component does not enter the void Y but exits the insulator film (3) is detected. La présente invention concerne un équipement pour mesurer la distribution de la taille des vides ou des particules, capable de mesurer la taille d'un vide ou d'une particule en un temps très court, avec une haute précision. Pour mesurer la taille d'un vide (Y) existant dans un film isolant poreux (3) ou la taille d'une particule dans un film mince, on prend un échantillon (5) constitué d'un substrat (4) à la surface duquel se trouve le film isolant (3), et on le soumet depuis sa surface à un rayonnement aux rayons X (r) selon un angle d'incidence theta i supérieur à l'angle critique de réflexion totale du film isolant (3) sans toutefois dépasser de 1,3 fois l'angle critique de réflexion totale du substrat (4). Les rayons X envoyés sur le film isolant (3) et renvoyés par la surface du substrat (4) sans entrer dans le vide (Y) mais ressortant du film isolant (3) sont une composante de dispersion. En l'occurrence, la détection porte sur une telle composante de dispersion dont l'angle de sortie est supérieur à ce qui se produit lorsque la composante se réfléchissant ne pénètre pas dans le vide (Y) mais sort du film isolant (3).
摘要附图：
