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基本信息

摘要:本发明涉及电阻测量计技术领域,特指一种氧化物薄膜晶体管式的电阻测量计。本发明以PVA固态电解质薄膜作为栅介质,运用原子力显微镜观察PVA栅介质表面形态,其表面平整连续,无细微裂痕,有利于获得良好的器件性能。在电路中被测电阻串联前后,通过调节栅电压,维持电路中的电流保持不变,则沟道前后阻值差的绝对值即为被测电阻的阻值。与传统的伏伏法测电阻的方法相比,由于栅电压可以连续的改变,从而使沟道的电阻可以连续变化,使用氧化物薄膜晶体管式的电阻测量计测量大电阻时,可以提高被测阻值的精度。

摘要附图: