基本信息
摘要：公开了一种半导体加速度传感器，其在X、Y和Z轴之中的加速度检测灵敏度上具有较小的差异，并且具有较高的检测灵敏度。该加速度传感器具有在其中心的块部分，围绕该块部分的支撑框架，以及连接该块部分和支撑框架的多个挠性臂。挠性臂在两端具有宽部，以及在该宽却之间的窄部。压电电阻限制地提供在该挠性臂的宽部的顶面区域内，并且在该块部分/支撑框架上布置连接金属线和压电电阻的通孔。该多个挠性臂相对于该块部分的中心是对称的，并且每个挠性臂相对于该挠性臂的中心线是对称的。
摘要附图：
