基本信息
摘要：本发明涉及一种加速度计，具体涉及一种MEMS加速度计，具体为将高速的数字量化单元嵌入到MEMS加速度计的sigma?delta全闭环电路中，并通过信号估计与处理，实现了由低位量化器组成的MEMS全闭环sigma?delta系统达到了全数字闭环和高位数字量化输出。通过本发明的信号处理算法、系统稳定性设计，实现反馈静电力量化的同时，实现了数字反馈。同时采用数字方式实现环路滤波器，能够避免模拟环路滤波器产生的积分饱和现象，同时降低版图设计难度以及模拟环路滤波器的噪声对系统影响，有效地提高了MEMS加速度计的性能。
摘要附图：
