基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 一种具有纯轴向变形敏感梁的面外压阻式加速度计芯片及其制备方法
• 申请日： 1970-08-23
• 申请号/专利号： CN201910683513.X
• 专利权人： 于明智;杨萍;王久洪;皇咪咪;蒋庄德;贾琛;赵立波;马银涛
• 申请人： 西安交通大学
• 分类号： B81C1/00
• 发明人/设计人： 于明智;杨萍;王久洪;皇咪咪;蒋庄德;贾琛;赵立波;马银涛
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号： B81C1/00
• 代理机构：
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• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明公开了一种具有纯轴向变形敏感梁的面外压阻式加速度计芯片及其制备方法，该芯片包括两个对称设置的质量块，两个质量块的外端面各自和芯片外框连接，内端面通过两组敏感梁连接；四个敏感梁组成惠斯通全桥电路；质量块用于直接感测面外加速度信号，当芯片受到Z方向的加速度时，两质量块同步运动，与其固定的敏感梁也保持同步运动，从而满足敏感梁的纯轴向形变。

摘要附图：