基本信息
摘要：本实用新型涉及用于角速度测量的全解耦振动式微机械陀螺，属于微机电系统中的惯性传感器技术领域。驱动质量块弹性支撑梁通过立柱固定在基片上，驱动质量块为方框形，其四角通过弹性支撑梁与立柱相连。检测质量块置于驱动质量块中，并通过弹性支撑梁与驱动质量块相连。驱动电容固定电极固定在基片上，驱动电容可动电极与驱动质量块相对固定，并与驱动电容固定电极位置相对。检测电容固定电极固定在微机械陀螺的基片上，检测电容可动电极固定在检测质量块下表面的绝缘层上，并通过导电柱与检测质量块导通。本实用新型的微机械陀螺，从结构设计上消除了驱动方向的振动对检测电容的干扰，提高了微机械陀螺灵敏度，且不增加工艺难度和加工成本，易于批量生产。
摘要附图：
