基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 一种静电力反馈挠性摆式加速度计
• 申请日： 1970-08-23
• 申请号/专利号： CN201910997709.6
• 专利权人： 吴斌;张习文;朱普辉;李鹏飞;梁璞;白晓荣;雷宏杰;魏渊
• 申请人： 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
• 分类号：
• 发明人/设计人： 吴斌;张习文;朱普辉;李鹏飞;梁璞;白晓荣;雷宏杰;魏渊
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明公开一种静电力反馈挠性摆式加速度计，包括表芯，表芯包括硅摆片(10)、光学位移传感器、静电力反馈力矩器和底座(9)，硅摆片(10)包括定片(1)、动片(4)和挠性支承梁(2)，静电力反馈力矩器包括静电力反馈上极板(3)、静电力反馈下极板(8)和两者之间的动片(4)，光学位移传感器中的可动光窗(5)固定在动片(4)上，检测动片位移，静电力反馈上极板(3)、定片(1)和静电力反馈下极板(8)叠装固定在底座(9)上，动片(4)与静电力反馈上极板(3)及静电力反馈下极板(8)的间隙中设有限位凸台(11)。本发明通过结合光学位移检测、静电力反馈和整体摆，应用于加速度计测量，可实现精度为μg0/ppm级的加速度测量。

摘要附图：