基本信息
摘要：直接加热终端式微电子机械微波功率传感器及其制备方法是利用终端负载的形式实现功率吸收并转化为热量，以测量温度的方式测得输入功率的结构，该结构利用热电偶充当终端负载，将由共面波导上输入的能量转化为热量，再转化为电压的方式测得微波功率的大小，在结构上该传感器包括衬底，共面波导地线，共面波导信号线，金热电偶臂，AlGaAs热电偶臂，焊盘，欧姆接触，介质；制造步骤为：准备GaAs衬底，淀积AlGaAs，离子注入进行掺杂，光刻AlGaAs并刻蚀出热电偶臂，淀积AUGE共晶体，Ni和Au，光刻、高温热退火形成欧姆接触，淀积SiON介质层，淀积金属并光刻出共面波导和部分热电偶臂，淀积介质层，制作焊盘。
摘要附图：
